[发明专利]一种铜蚀刻液组合物及其使用方法

权利要求书

1.一种铜蚀刻液，其特征在于，所述铜蚀刻液按重量百分比包括以下组分：10~20%的双氧水尿素，2~10%的无机酸，1~12%的有机酸，1~8%的无机盐，10~30%的调节剂以及余量水。

2.根据权利要求1所述的一种铜蚀刻液，其特征在于，所述无机酸选自硝酸、硫酸、雷酸、氢硫酸、氯磺酸、碳酸、硅酸、次氯酸中的一种或至少两种的组合。

3.根据权利要求1所述的一种铜蚀刻液，其特征在于，所述无机盐选自氯化铁、氯化铜中的一种或至少两种的组合。

4.根据权利要求1所述的一种铜蚀刻液，其特征在于，所述有机酸选自乙酸、丙酸、丁二酸、苹果酸、柠檬酸、肉桂酸、草酸、甘氨酸、苯甲酸、对甲基苯甲酸、邻甲基苯甲酸、对氨基苯甲酸、邻氨基苯甲酸中的一种或至少两种的组合。

5.根据权利要求1所述的一种铜蚀刻液，其特征在于，所述调节剂选自对苯二胺、间苯二胺、三乙醇胺、三乙胺、甲基苯磺酸、乙二胺四乙酸、苯基脲、N-异丙基苄胺、丙二醇、二异丙胺中的一种或至少两种的组合。

6.根据权利要求5所述的一种铜蚀刻液，其特征在于，所述调节剂为由对苯二胺、三乙醇胺、乙二胺四乙酸、甲基磺酸以及苯基脲组成的混合物。

7.根据权利要求6所述的一种铜蚀刻液，其特征在于，所述对苯二胺、三乙醇胺、乙二胺四乙酸、甲基磺酸以及苯基脲的重量比为（3~5）：（18~22）：（18~22）：（28~32）：（33~37）：（23~27）。

8.根据权利要求6所述的一种铜蚀刻液，其特征在于，所述调节剂在所述铜蚀刻液中的重量百分比为13~28%。

9.根据权利要求1所述的一种铜蚀刻液，其特征在于，按重量百分比计，所述铜蚀刻液包括以下组分：13~18%的所述双氧水尿素，4~8%的所述无机酸，2~4%的所述有机酸，1~3%的所述无机盐，10~30%的所述调节剂以及余量水。

10.一种权利要求1~9任一项所述铜蚀刻液的制备方法，其特征在于，将所述双氧水尿素、所述无机盐、所述有机酸、所述调节剂与水在不超过50℃的温度下混合搅拌，经过滤合格后得到铜蚀刻液。