[发明专利]一种发光二极管外延片及其制作方法在审

专利信息
申请号: 202210516056.7 申请日: 2022-05-12
公开(公告)号: CN114759123A 公开(公告)日: 2022-07-15
发明(设计)人: 张彩霞;程金连;印从飞;胡加辉;金从龙 申请(专利权)人: 江西兆驰半导体有限公司
主分类号: H01L33/00 分类号: H01L33/00;H01L33/32
代理公司: 南昌旭瑞知识产权代理事务所(普通合伙) 36150 代理人: 彭琰
地址: 330000 江西省南昌市南*** 国省代码: 江西;36
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摘要: 发明提供一种发光二极管外延片及其制作方法,所述发光二极管外延片包括:衬底、以及在衬底上依次层叠的低温成核层、未掺杂的u‑GaN层、插入层、N型GaN层、应力释放层、多量子阱层、P型电子阻挡层和P型GaN层;插入层包括在未掺杂的u‑GaN层上依次层叠的第一子层、第二子层及第三子层,第一子层为低温高压生长的MgxN层,第二子层包括周期性交替层叠的高压生长的GaN层和低压生长的AlyGa1‑yN层,第三子层为高温低压生长的AlzGa1‑zN层。本发明解决了现有外延片缺陷多及表面平整度下降的问题。
搜索关键词: 一种 发光二极管 外延 及其 制作方法
【主权项】:
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