[发明专利]一种柔性铁电电容器及其制作方法在审
| 申请号： | 202210492735.5 | 申请日： | 2022-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN114927344A | 公开（公告）日： | 2022-08-19 |
| 发明（设计）人： | 罗庆;陈煜婷 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H01G4/002 | 分类号： | H01G4/002 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 房德权 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及铁电电容器技术领域，尤其涉及一种柔性铁电电容器，该柔性铁电电容器包括：衬底；功能层，所述功能层位于所述衬底之上，其中，所述功能层的材质为氧化铝；下电极层，所述下电极层位于所述功能层之上；介质层，所述介质层位于所述下电极层之上；上电极层，所述上电极层位于所述介质层之上。柔性铁电电容器提高铁电电容器的柔韧性，使得柔性铁电电容器的器件的柔韧性大大提高，器件在弯折后，其性能仍保持稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 电容器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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