[发明专利]一种柔性铁电电容器及其制作方法

说明书

本发明涉及铁电电容器技术领域，尤其涉及一种柔性铁电电容器，该柔性铁电电容器包括：衬底；功能层，所述功能层位于所述衬底之上，其中，所述功能层的材质为氧化铝；下电极层，所述下电极层位于所述功能层之上；介质层，所述介质层位于所述下电极层之上；上电极层，所述上电极层位于所述介质层之上。柔性铁电电容器提高铁电电容器的柔韧性，使得柔性铁电电容器的器件的柔韧性大大提高，器件在弯折后，其性能仍保持稳定。

技术领域

本发明涉及铁电电容器技术领域，尤其涉及一种柔性铁电电容器及其制作方法。

背景技术

如今，可穿戴电子设备、柔性显示器和电子皮肤等柔性电子设备因其便携、灵活、轻巧、人性化的界面而备受关注。由于柔性电子设备在经受弯曲卷绕等应力干扰的条件下，还需要保持性能稳定，则需高标准要求铁电电容器的相关性能。然而，现有的铁电电容器存在柔韧性较差的问题。

发明内容

本申请实施例通过提供一种柔性铁电电容器及其制作方法，解决了现有技术中铁电电容器存在柔韧性较差的技术问题，实现了提高铁电电容器的柔韧性，使得柔性铁电电容器的器件的柔韧性大大提高，器件在弯折后，其性能仍保持稳定等技术效果。

第一方面，本发明实施例提供一种柔性铁电电容器，包括：

衬底；

功能层，所述功能层位于所述衬底之上，其中，所述功能层的材质为氧化铝；

下电极层，所述下电极层位于所述功能层之上；

介质层，所述介质层位于所述下电极层之上；

上电极层，所述上电极层位于所述介质层之上。

优选的，所述介质层的材质为掺锆的氧化铪(HfZrO)。

优选的，所述介质层的铪元素与锆元素的摩尔组分比例范围为0.9至1.1。

优选的，所述衬底的材质为聚酰亚胺。

优选的，所述下电极层的材质包括氮化钛、钨、氮化钽或高导硅。

基于同一发明构思，第二方面，本发明还提供一种柔性铁电电容器的制作方法，包括：

在衬底上形成功能层，其中，所述功能层的材质为氧化铝；

在所述功能层上形成下电极层；

在所述下电极层上形成介质层；

在所述介质层上形成上电极层。

优选的，所述在所述下电极层上形成介质层，包括：

在所述下电极层上，依次循环沉积一层氧化锆薄膜和一层氧化铪薄膜，直到当所述介质层的厚度达到预设厚度时，以一层氧化锆薄膜封顶，形成所述介质层。

优选的，所述介质层的材质为掺锆的氧化铪(HfZrO)。

优选的，所述介质层的铪元素与锆元素的摩尔组分比例范围为0.9至1.1。

优选的，所述在所述功能层上形成下电极层，包括：

通过离子束溅射工艺，在所述功能层上溅射制备所述下电极。

本发明实施例中的一个或多个技术方案，至少具有如下技术效果或优点：