[发明专利]一种柔性铁电电容器及其制作方法在审
| 申请号： | 202210492735.5 | 申请日： | 2022-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN114927344A | 公开（公告）日： | 2022-08-19 |
| 发明（设计）人： | 罗庆;陈煜婷 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H01G4/002 | 分类号： | H01G4/002 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 房德权 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 电容器 及其 制作方法 | ||
1.一种柔性铁电电容器，其特征在于，包括：
衬底；
功能层，所述功能层位于所述衬底之上，其中，所述功能层的材质为氧化铝；
下电极层，所述下电极层位于所述功能层之上；
介质层，所述介质层位于所述下电极层之上；
上电极层，所述上电极层位于所述介质层之上。
2.如权利要求1所述的柔性铁电电容器，其特征在于，所述介质层的材质为掺锆的氧化铪(HfZrO)。
3.如权利要求2所述的柔性铁电电容器，其特征在于，所述介质层的铪元素与锆元素的摩尔组分比例范围为0.9至1.1。
4.如权利要求1所述的柔性铁电电容器，其特征在于，所述衬底的材质为聚酰亚胺。
5.如权利要求1所述的柔性铁电电容器，其特征在于，所述下电极层的材质包括氮化钛、钨、氮化钽或高导硅。
6.一种柔性铁电电容器的制作方法，其特征在于，包括：
在衬底上形成功能层，其中，所述功能层的材质为氧化铝；
在所述功能层上形成下电极层；
在所述下电极层上形成介质层；
在所述介质层上形成上电极层。
7.如权利要求6所述的制作方法，其特征在于，所述在所述下电极层上形成介质层，包括：
在所述下电极层上，依次循环沉积一层氧化锆薄膜和一层氧化铪薄膜，直到当所述介质层的厚度达到预设厚度时，以一层氧化锆薄膜封顶，形成所述介质层。
8.如权利要求6所述的制作方法，其特征在于，所述介质层的材质为掺锆的氧化铪(HfZrO)。
9.如权利要求8所述的制作方法，其特征在于，所述介质层的铪元素与锆元素的摩尔组分比例范围为0.9至1.1。
10.如权利要求6所述的制作方法，其特征在于，所述在所述功能层上形成下电极层，包括：
通过离子束溅射工艺，在所述功能层上溅射制备所述下电极。
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