[发明专利]相变存储器以及相变存储器的制作方法在审
| 申请号： | 202210469040.5 | 申请日： | 2022-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN114792755A | 公开（公告）日： | 2022-07-26 |
| 发明（设计）人： | 许豪;杨芳;潘绪文 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | H01L45/00 | 分类号： | H01L45/00 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 霍文娟 |
| 地址： | 430074 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种相变存储器以及相变存储器的制作方法。该相变存储器包括第一电极、加热器、相变材料层以及第二电极，其中，加热器围设在第一电极的侧面且与第一电极的侧面接触，加热器的远离第一电极的侧面为第一表面，第一表面上具有多个凹槽；相变材料层围设在第一表面且与第一表面接触，相变材料层的靠近加热器的侧面上具有多个凸出部，凸出部一一对应地位于凹槽中；第二电极围设在相变材料层的第二表面且与第二表面接触，第二表面为相变材料层的远离加热器的侧面。该相变存储器保证了相变材料层与加热器接触的比表面积较大，进而保证了传热效率较高，器件功耗较低以及可靠性较好，解决了相变存储器的热效率较低的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 相变 存储器 以及 制作方法 | ||
【主权项】：
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