[发明专利]一种基于MEMS技术的半导体可燃气体传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 202210453453.4 | 申请日： | 2022-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN114839230B | 公开（公告）日： | 2023-01-24 |
| 发明（设计）人： | 时学瑞;申林;王冉;石保敬;贾毅博;赵静;靳小丹;沈小红;宋雨萍;杨裕清 | 申请（专利权）人： | 河南森斯科传感技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 郑州大豫知识产权代理事务所(普通合伙) 41214 | 代理人： | 周秉彦 |
| 地址： | 461500 河南省*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于MEMS技术的半导体可燃气体传感器，包括相对设置的气敏模块及加热模块，气敏模块包括硅衬底、第一绝缘层、测试电极及测试导电带，测试电极上涂覆有气敏涂层，气敏涂层中含有半导体金属氧化物、贵金属催化剂、催化剂载体及酸洗石棉，加热模块包括硅基底、第二绝缘层、氮化硅层、加热电极及加热导电带，硅基底上部刻蚀形成有隔热腔，加热电极呈环绕状包围在测试电极四周，且加热电极与测试电极无直接接触。本发明结构紧凑、体积微型化，降低了能耗，提高了结构强度，克服了各层薄膜因工作时热膨胀系数差异而带来的器件损坏及衰减，性能一致性好，检测灵敏度高，机械强度大，使用寿命长，具有良好的应用效果和产业化前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 mems 技术 半导体 可燃 气体 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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