[发明专利]磁悬浮装置以及半导体加工设备在审
| 申请号： | 202210442450.0 | 申请日： | 2022-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN114826025A | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 尹成科 | 申请（专利权）人： | 苏州苏磁智能科技有限公司 |
| 主分类号： | H02N15/00 | 分类号： | H02N15/00;H02K1/14;H02K3/52;H02K1/17 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王晓燕 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市相城经济技术开*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种磁悬浮装置和半导体加工设备，该磁悬浮装置包括转子和定子。定子包括至少三个磁性定子基片以及永磁体和导磁体，该至少三个磁性定子基片在定子的轴向上彼此间隔开以在定子的轴向上限定至少两个间隙，在定子的轴向上永磁体和导磁体交替设置于至少两个间隙中；至少三个磁性定子基片的每个包括基片主体以及与基片主体连接的突出部，突出部朝向转子而突出于永磁体和导磁体，突出部上缠绕有磁悬浮线圈；并且至少三个磁性定子基片包括第一磁性定子基片，该第一磁性定子基片的突出部和磁悬浮线圈对转子施加沿定子的轴向向上的力，第一磁性定子基片的数量与至少三个磁性定子基片的总数量之比大于等于50％。本公开的磁悬浮装置能够提供大的、可调节的轴向支撑力。 | ||
| 搜索关键词： | 磁悬浮 装置 以及 半导体 加工 设备 | ||
【主权项】：
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