[发明专利]半导体装置在审

专利信息
申请号: 202210429276.6 申请日: 2022-04-22
公开(公告)号: CN115602685A 公开(公告)日: 2023-01-13
发明(设计)人: 朴星一;朴宰贤;金庚浩;尹喆珍;河大元 申请(专利权)人: 三星电子株式会社
主分类号: H01L27/088 分类号: H01L27/088;H01L21/8234
代理公司: 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 代理人: 史泉;张川绪
地址: 韩国京畿*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 公开了半导体装置。所述半导体装置包括:下沟道图案和上沟道图案,沿与基底的顶表面垂直的第一方向堆叠在基底上;下源极/漏极图案,在基底上并在下沟道图案的第一侧和第二侧;上源极/漏极图案,堆叠在下源极/漏极图案上并在上沟道图案的第三侧和第四侧;第一阻挡图案,在下源极/漏极图案与上源极/漏极图案之间;以及第二阻挡图案,在第一阻挡图案与上源极/漏极图案之间。第一阻挡图案包括第一材料,并且第二阻挡图案包括第二材料,其中,第一材料和第二材料不同。
搜索关键词: 半导体 装置
【主权项】:
暂无信息
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