[发明专利]一种半导体工艺设备中动画数据处理的方法、装置及设备在审
| 申请号： | 202210333610.8 | 申请日： | 2022-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN114758038A | 公开（公告）日： | 2022-07-15 |
| 发明（设计）人： | 宫兆辉 | 申请（专利权）人： | 西安北方华创微电子装备有限公司;北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G06T13/00 | 分类号： | G06T13/00 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 苏培华 |
| 地址： | 710000 陕西省西安市高新*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供了一种半导体工艺设备中动画数据处理的方法、装置及设备，所述方法包括：获取所述半导体设备对应的配置文件；根据所述配置文件，显示所述半导体设备中各个部件的分布视图；响应于对目标部件的移动操作，在所述分布视图中显示所述目标部件的移动过程，并确定移动后的目标部件的当前位置信息；根据所述当前位置信息，生成动画数据。通过本发明实施例，实现了对针对半导体设备的软件动画单元开发的优化，既通过配置文件的形式来生成软件，满足不同的设备调试需求，提升了对不同设备的适用性，且能够让用户直观地查看到各个部件的移动过程，进而更加便捷地得到动画数据，提升了开发效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 工艺设备 动画 数据处理 方法 装置 设备 | ||
【主权项】：
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