[发明专利]一种半导体工艺设备中动画数据处理的方法、装置及设备

说明书

本发明实施例提供了一种半导体工艺设备中动画数据处理的方法、装置及设备，所述方法包括：获取所述半导体设备对应的配置文件；根据所述配置文件，显示所述半导体设备中各个部件的分布视图；响应于对目标部件的移动操作，在所述分布视图中显示所述目标部件的移动过程，并确定移动后的目标部件的当前位置信息；根据所述当前位置信息，生成动画数据。通过本发明实施例，实现了对针对半导体设备的软件动画单元开发的优化，既通过配置文件的形式来生成软件，满足不同的设备调试需求，提升了对不同设备的适用性，且能够让用户直观地查看到各个部件的移动过程，进而更加便捷地得到动画数据，提升了开发效率。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，特别是涉及一种半导体工艺设备中动画数据处理的方法、装置及设备。

背景技术

对于半导体设备，其工作模式通常是机械手(Robot)将指定位置上的晶圆(Wafer)传输至工艺腔室进行工艺加工，再将工艺完成的晶圆传输回到指定位置，半导体设备一般由工艺腔室、传输腔室、加载腔室等多个固定位置的模块、可旋转伸缩的机械手，以及需要被传输的晶圆组成。

为提升针对半导体设备的软件的用户使用体验，设备软件的界面都会包含动画单元，动画单元外观表现为设备整体组成的简图，动画单元可以显示整体机台的实时状态信息，这些信息包括模块所处的状态(已准备、维护、是否在工艺等)、机械手的旋转和取放片动作、wafer的实时传输状态等。

在设备工作过程中，设备软件会根据具体硬件传输回来的反馈信号控制动画单元显示不同的效果，动画单元的开发是设备软件开发的重要一环，但现有的动画单元的开发对设备的适用性较差且开发效率低。

发明内容

鉴于上述问题，提出了以便提供克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的一种半导体工艺设备中动画数据处理的方法、装置及设备，包括：

一种半导体工艺设备中动画数据处理的方法，所述方法包括：

获取半导体设备对应的配置文件；

根据配置文件，显示半导体设备中各个部件的分布视图；

响应于对目标部件的移动操作，在分布视图中显示目标部件的移动过程，并确定移动后的目标部件的当前位置信息；

根据当前位置信息，生成动画数据。

可选地，响应于对目标部件的移动操作，在分布视图中显示目标部件的移动过程，包括：

响应于用户选择部件的操作，确定目标部件；

响应于用户输入移动参数的操作，对目标部件对应的当前位置信息进行更新，并在分布视图中显示目标部件的移动过程。

可选地，响应于用户输入移动参数的操作，对目标部件对应的当前位置信息进行更新，包括：

确定目标移动精度；

响应于用户输入移动参数的操作，按照目标移动精度，对目标部件对应的当前位置信息进行更新。

可选地，在响应于用户选择部件的操作，确定目标部件之前，还包括：

显示各个部件对应的操作控件；

响应于用户选择部件的操作，确定目标部件，包括：

响应于用户对目标操作控件的选中操作，确定目标部件。

可选地，还包括：

显示各个部件的当前位置信息。

可选地，各个部件包括：

固定模块、机械手、晶圆；

其中，固定模块包括工艺腔室、真空传输腔室、大气传输腔室、真空大气转换腔室、门阀。