[发明专利]一种半导体工艺设备中动画数据处理的方法、装置及设备

权利要求书

1.一种半导体工艺设备中动画数据处理的方法，其特征在于，所述方法包括：

获取所述半导体设备对应的配置文件；

根据所述配置文件，显示所述半导体设备中各个部件的分布视图；

响应于对目标部件的移动操作，在所述分布视图中显示所述目标部件的移动过程，并确定移动后的目标部件的当前位置信息；

根据所述当前位置信息，生成动画数据。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述响应于对目标部件的移动操作，在所述分布视图中显示所述目标部件的移动过程，包括：

响应于用户选择部件的操作，确定所述目标部件；

响应于用户输入移动参数的操作，对所述目标部件对应的当前位置信息进行更新，并在所述分布视图中显示所述目标部件的移动过程。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述响应于用户输入移动参数的操作，对所述目标部件对应的当前位置信息进行更新，包括：

确定目标移动精度；

响应于用户所述输入移动参数的操作，按照所述目标移动精度，对所述目标部件对应的当前位置信息进行更新。

4.根据权利要求2或3所述的方法，其特征在于，在所述响应于用户选择部件的操作，确定目标部件之前，还包括：

显示所述各个部件对应的操作控件；

所述响应于用户选择部件的操作，确定目标部件，包括：

响应于用户对目标操作控件的选中操作，确定所述目标部件。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：

显示所述各个部件的当前位置信息。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述各个部件包括：

固定模块、机械手、晶圆；

其中，所述固定模块包括工艺腔室、真空传输腔室、大气传输腔室、真空大气转换腔室、门阀。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述配置文件具有针对所述半导体设备中各个部件的配置信息，各个部件的配置信息包括与其对应的动画图片和位置信息，针对机械手的配置信息包括可供机械手取放的晶圆名称，针对晶圆的配置信息包括有其停留的固定模块名称。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述根据所述配置文件，显示所述半导体设备中各个部件的分布视图，包括：

根据所述配置文件中针对各个部件的配置信息，确定预置的映射解析算法中与各个部件对应的类的属性信息，所述属性信息包括各个部件对应的动画图片和位置信息；

调用所述映射解析算法，根据与各个部件对应的类的属性信息，生成所述半导体设备中各个部件的分布视图，并进行显示。

9.一种处理半导体工艺设备中动画数据的装置，其特征在于，所述装置包括：

配置文件获取模块，用于获取所述半导体设备对应的配置文件；

分布视图显示模块，用于根据所述配置文件，显示所述半导体设备中各个部件的分布视图；

移动模块，用于响应于对目标部件的移动操作，在所述分布视图中显示所述目标部件的移动过程，并确定移动后的目标部件的当前位置信息；

动画数据生成模块，用于根据所述当前位置信息，生成动画数据。

10.一种处理半导体工艺设备中动画数据的设备，其特征在于，包括：控制器，所述控制器用于获取所述半导体设备对应的配置文件；根据所述配置文件，显示所述半导体设备中各个部件的分布视图；响应于对目标部件的移动操作，在所述分布视图中显示所述目标部件的移动过程，并确定移动后的目标部件的当前位置信息；根据所述当前位置信息，生成动画数据。