[发明专利]一种提高金刚石生长质量的工艺方法在审
| 申请号： | 202210330114.7 | 申请日： | 2022-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN116926667A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 赵丽媛;杨成武;甄西合;徐超;刘畅;张磊 | 申请（专利权）人： | 河南匠人光电设备科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/20 | 分类号： | C30B25/20;C30B25/18;C30B25/16;C30B29/04 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 刘瑞华 |
| 地址： | 465300 河南省信*** | 国省代码： | 河南;41 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种提高金刚石生长质量的工艺方法，用于微波等离子体化学气相沉积设备，步骤包括：在单晶生长过程中，多次暂停通入甲烷以对炉内腔壁及基片台进行刻蚀；待金刚石生长厚度达到一定时，停止通入甲烷并停止刻蚀，生长结束；每次刻蚀时，还包括使炉内气压从生长气压降低至刻蚀气压，并通入氩气。本发明提出在生长过程中，周期性地对金刚石基体上的石墨、非金刚石相等杂质进行刻蚀处理，防止在金刚石生长表面上出现石墨、非金刚石相等缺陷，同时也可对微波设备的炉内腔壁及基片台上的沉积物进行刻蚀处理，减少或消除腔壁及基片台上的碳氢、聚合物等杂质的沉积，净化单晶金刚石生长环境，保证金刚石生长的稳定性，以获得高质量的单晶金刚石。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 金刚石 生长 质量 工艺 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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