[发明专利]金属膜厚测量方法、膜厚测量装置和化学机械抛光设备有效
| 申请号： | 202210206383.2 | 申请日： | 2022-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN114589617B | 公开（公告）日： | 2022-10-21 |
| 发明（设计）人： | 王成鑫;王同庆;田芳鑫;侯映红;路新春 | 申请（专利权）人： | 清华大学;华海清科股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/013;B24B37/34;B24B49/10;B24B49/04 |
| 代理公司： | 天津市君砚知识产权代理有限公司 12239 | 代理人： | 刘伟杰 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种金属膜厚测量方法、膜厚测量装置和化学机械抛光设备，方法包括：基于幅值法或相位法测量晶圆表面金属薄膜的膜厚时，计算幅值法或相位法对应的极值点；根据所述极值点、测量量程和/或测量灵敏度来调节激励频率，其中，所述测量量程为测量膜厚范围，所述测量灵敏度为分辨率，所述激励频率为用于膜厚测量装置的激励信号的频率。本发明利用极值点，可以得到幅值法和相位法中最优的测量量程和测量灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 金属膜 测量方法 测量 装置 化学 机械抛光 设备 | ||
【主权项】：
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