[发明专利]阵列基板及其制作方法、显示面板在审
| 申请号： | 202210140996.0 | 申请日： | 2022-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN114613854A | 公开（公告）日： | 2022-06-10 |
| 发明（设计）人： | 章凯迪;林柏全;王林志;黄钰坤;龚顺;席克瑞 | 申请（专利权）人： | 上海天马微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/423 | 分类号： | H01L29/423;H01L29/78;H01L27/32;H01L21/28;H01L21/266;H01L21/336 |
| 代理公司： | 北京晟睿智杰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11603 | 代理人： | 于淼 |
| 地址： | 201201 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种阵列基板及其制作方法、显示面板，涉及显示技术领域，阵列基板包括衬底和设置于衬底上的多个晶体管；晶体管包括设置于衬底同一侧的有源层和栅极，有源层位于栅极和衬底之间；至少部分晶体管中，栅极包括沿垂直于衬底的方向层叠设置且电连接的第一金属部和第二金属部，第二金属部位于第一金属部背离衬底的一侧；有源层包括沟道区和位于沟道区两侧的第一掺杂区，沿垂直于衬底的方向，第一金属部与沟道区重合，第二金属部与沟道区交叠且与第一掺杂区不交叠；至少部分第二金属部复用作形成第一掺杂区的掩膜板。如此，既有利于简化至少部分晶体管的制作工艺，又有利于提升有源层中不同区域的位置精准性。 | ||
| 搜索关键词： | 阵列 及其 制作方法 显示 面板 | ||
【主权项】：
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