[发明专利]半导体装置在审

专利信息
申请号: 202210136871.0 申请日: 2022-02-15
公开(公告)号: CN115799316A 公开(公告)日: 2023-03-14
发明(设计)人: 西胁达也;可知刚;德山周平 申请(专利权)人: 株式会社东芝;东芝电子元件及存储装置株式会社
主分类号: H01L29/40 分类号: H01L29/40;H01L29/78
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人: 徐殿军
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 实施方式提供能进行高速切换的半导体装置。实施方式的半导体装置具备第一电极,设于第一电极上的第一导电型的第一半导体层,从第一半导体层的上表面向下方延伸的柱状的第一绝缘膜,设于第一绝缘膜中且沿上下方向延伸的柱状的第二电极,局部地设于第一半导体层的上层部、经由第一半导体层与第一绝缘膜相邻的第二导电型的第二半导体层,局部地设于第二半导体层的上层部的第一导电型的第三半导体层,与第一半导体层的上表面相比设于更靠上方、从上方观察时与第一绝缘膜、第一半导体层以及第二半导体层的一部分重叠的第三电极,与第三电极的上端相比设于更靠上方的第四电极,设于第三电极与第四电极、第一半导体层以及第二半导体层之间的第二绝缘膜。
搜索关键词: 半导体 装置
【主权项】:
暂无信息
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