[发明专利]一种氢化硅碳氮氧透明超疏水薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 202210033301.9 | 申请日： | 2022-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN114481087A | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 姜礼华;孙嘉进;龚梦天;林一凡;肖婷;向鹏;杨雄波;谭新玉 | 申请（专利权）人： | 三峡大学 |
| 主分类号： | C23C16/30 | 分类号： | C23C16/30;C23C16/505;C23C16/56 |
| 代理公司： | 宜昌市三峡专利事务所 42103 | 代理人： | 成钢 |
| 地址： | 443002 *** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种氢化硅碳氮氧透明超疏水薄膜的制备方法，包括如下步骤：以高纯甲烷、氨气、笑气和氢气稀释的硅烷混合气为工作气体，通过等离子体增强化学气相沉积技术在玻璃基片表面制备透明氢化硅碳氮氧薄膜；采用PECVD技术以四氟化碳为工作气体对氢化硅碳氮氧薄膜实施等离子体刻蚀。通过上述两步骤便可获得一种具有优异超疏水、自清洁和透明性能的氢化硅碳氮氧薄膜。同时，这种薄膜还具有优异的耐腐蚀、耐磨和耐酸碱性能，并且在玻璃基底表面拥有很好的附着力。本发明公开的这种氢化硅碳氮氧透明超疏水薄膜在太阳能电池板、汽车挡风玻璃、相机镜头、护目镜、智能窗户的疏水防污方面具有很好的应用潜力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氢化 硅碳氮氧 透明 疏水 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三峡大学，未经三峡大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210033301.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
