[发明专利]基于参考图像来确定样本中的缺陷和/或边缘粗糙度在审
| 申请号： | 202210027392.5 | 申请日： | 2022-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN114841912A | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | S·埃尔卡亚姆;S·科恩;N·扎克 | 申请（专利权）人： | 应用材料以色列公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06K9/62;G06T7/13;G06V10/764 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖;张鑫 |
| 地址： | 以色列瑞*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
提供了系统和方法，包括：获得半导体样本的分段图像，所述图像包括第一结构元素；获得半导体样本的参考图像，所述参考图像是基于设计数据并且包括第二结构元素；对于包括第一结构元素和对应的第二结构元素的至少一对元素，确定提供为了根据匹配标准使所述对的元素匹配所需的空间变换的信息的数据D |
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| 搜索关键词： | 基于 参考 图像 确定 样本 中的 缺陷 边缘 粗糙 | ||
【主权项】：
暂无信息
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