[发明专利]用于检查和/或成像样品的带电粒子束装置和方法在审
| 申请号： | 202180032855.0 | 申请日： | 2021-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN115516597A | 公开（公告）日： | 2022-12-23 |
| 发明（设计）人： | D·温克勒;B·沃勒特;B·夏宾格 | 申请（专利权）人： | ICT半导体集成电路测试有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/04 | 分类号： | H01J37/04;H01J37/244 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 史起源;侯颖媖 |
| 地址： | 德国海*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述成像和/或检查样品140的带电粒子束装置10。带电粒子束装置包括：发射一次带电粒子束105的束发射器150，带电粒子束装置适于沿光轴101将一次带电粒子束引导至样品以释放信号粒子；在撞击样品前阻滞一次带电粒子束的阻滞场装置100，阻滞场装置包括物镜110和代理电极130，其中代理电极包括允许一次带电粒子束和信号粒子通过的开口131；代理电极与物镜间的离轴背散射粒子的第一检测器120；以及放大第一检测器信号的前置放大器121，其中前置放大器为下列至少一者：(i)与第一检测器整合，(ii)在带电粒子束装置真空外壳102内侧邻近第一检测器布置，及(iii)固定安装在带电粒子束装置真空腔室中。也描述利用带电粒子束装置成像和/或检查样品的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 检查 成像 样品 带电 粒子束 装置 方法 | ||
【主权项】：
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- 本公开涉及用于操纵带电粒子束的装置和方法。在一个布置中，提供了孔径组件，孔径组件包括第一孔径主体和第二孔径主体。第一孔径主体中的孔径与第二孔径主体中的孔径对准。对准允许带电粒子束穿过孔径组件。第一孔径主体包括第一电极系统，第一电极系统用于向第一孔径主体中的每个孔径的孔径周表面施加电势。第一电极系统包括多个电极。每个电极彼此电隔离，并且被同时电连接到第一孔径主体中的多个孔径组中的一个不同的孔径的孔径周表面。
- 用于信号电子探测的系统和方法-202180020567.3
- 任伟明;王勇新 - ASML荷兰有限公司
- 2021-03-09 - 2022-11-11 - H01J37/04
- 公开了使用电子束装置观察样品的系统和方法。该电子束装置包括：电子源，其被配置为沿着主光轴(404)产生初级电子束；以及第一电子探测器(420)，其具有基本上平行于主光轴的第一探测层(421)，并且被配置为探测从样品上的探测斑点产生的多个信号电子(412)的第一部分。该方法可包括产生多个信号电子、并使用基本上平行于初级电子束的主光轴的第一电子探测器探测信号电子。第二电子探测器(407)的第二探测层可以基本上垂直于主光轴。通过在静电或磁性元件的内表面上设置第一电子探测器，静电元件或磁性元件可以被配置为探测背散射电子。
- 半导体工艺设备的上电极机构及半导体工艺设备-202010419642.0
- 卫晶;韦刚;杨京;牛晨;茅兴飞 - 北京北方华创微电子装备有限公司
- 2020-05-18 - 2022-09-16 - H01J37/04
- 本发明实施例公开了一种半导体工艺设备的上电极机构及半导体工艺设备，所述上电级机构包括：射频线圈、电流传感器、电流调整装置，其中，所述射频线圈包括至少两条并联的支路；每条所述支路上均设置有一所述电流传感器，用于检测该支路的支路电流；所述电流调整装置设置在所述射频线圈上，用于调整每个所述支路的支路电流，以使各所述支路的支路电流均相等。这样，通过电流调整装置，可以使射频线圈中每个支路的支路电流相等，实现刻蚀的均匀性。
- 石墨烯电极静电透镜及扫描电子显微镜-202220694228.5
- 杨思源;杨润潇 - 惠然科技有限公司
- 2022-03-28 - 2022-08-19 - H01J37/04
- 本实用新型公开了一种石墨烯电极静电透镜及扫描电子显微镜，石墨烯电极静电透镜包括导电衬底、至少一层石墨烯电极层、电极线和带电粒子束通道；导电衬底的上表面设置有绝缘层，石墨烯电极层设置在导电衬底的上表面，石墨烯电极层的表面覆盖有氮化硼介电层，对石墨烯电极层的表面形成绝缘；电极线设置在石墨烯电极层的上表面和覆盖于石墨烯电极层的表面的氮化硼介电层之间，电极线的引脚从石墨烯电极层的上表面向外延伸出氮化硼介电层；带电粒子束通道位于静电透镜的中心位置，从上至下贯通氮化硼介电层、石墨烯电极层和导电衬底。本实用新型提供的石墨烯电极静电透镜，能够在实现对带电粒子束聚焦和加速的效果前提下，大大减小静电透镜的体积与重量，同时易于保证高加工精度。
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