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[发明专利]影响带电粒子束的方法，多极装置，以及带电粒子束设备-CN202280012661.9在审
发明人： B·J·库克;B·沃勒特;D·温克勒 -专利权人： ICT半导体集成电路测试有限公司
申请日： 2022-02-08 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H01J37/147 文献下载
摘要：描述了一种用于影响沿着光轴(A)传播的带电粒子束(11)的方法。所述方法包括：引导带电粒子束(11)穿过多极装置(100、200)的至少一个开口(102)，多极装置包括布置在同一剖面中的具有四个或更多个第一电极(111、211)的第一多极(110、210)和具有四个或更多个第二电极(121、221)的第二多极(120、220)，第一电极和第二电极围绕至少一个开口(102)交替地布置；以及以下步骤中的至少一者：激发第一多极以提供用于以第一方式影响带电粒子束的第一场分布，以及激发第二多极以提供用于以第二方式影响带电粒子束的第二场分布。此外，提供了具有设置在同一基板上的第一多极(110、210)与第二多极(120、220)的多极装置(100、200)，以及具有多极装置(100、200)的带电粒子束设备(500)。
影响带电粒子束方法多极装置以及设备

[发明专利]带电粒子束设备、多子束组件和检查样本的方法-CN202210379610.1有效
发明人： B·J·库克;D·温克勒;M·托曼;T·凯门;R·巴迪 -专利权人： ICT半导体集成电路测试有限公司
申请日： 2022-04-12 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： H01J37/04 文献下载
摘要：描述了一种用于用多个子束检查样本的带电粒子束设备和方法，所述设备包括：用于产生沿光轴传播的带电粒子束的带电粒子束发射器；以及多子束产生和校正组件，所述多子束产生和校正组件包括：具有第一多个孔隙以用于从带电粒子束产生多个子束的第一多孔隙电极；具有用于多个子束的不同直径的第二多个孔隙以用于提供场曲率校正的至少一个第二多孔隙电极；以及用于单独地影响多个子束中的每一者的多个多极子，其中多子束产生和校正组件被配置为将多个子束聚焦以提供多个中间子束交叉点。带电粒子束设备进一步包括：用于将多个子束中的每一者聚焦到样本上的分离位置的物镜；以及布置在多子束产生和校正组件与物镜之间用于子束准直的单个转移透镜。
带电粒子束设备多子束组件检查样本方法

[发明专利]接触元件在电机的自由的线圈导体端部处的布置结构、用于机动车的电机、用于提供用于电机的接触元件的方法以及机动车-CN202180073982.5在审
发明人： D·温克勒;B·比克尔 -专利权人：宝马股份公司
申请日： 2021-11-11 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： H02K15/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种接触元件(20)在电机的自由的线圈导体端部(18)处的布置结构，其中，至少一个线圈导体端部(18)插入到所述接触元件(20)的相配的接触套筒(22)的插入开口(24)中并且与所述接触套筒(22)焊接，所述接触元件(20)设置用于将至少两个线圈导体端部(18)互连和/或将所述至少一个线圈导体端部(18)与至少一个相导体导电连接，并且所述至少一个线圈导体端部(18)至少在线圈导体端部(18)插入到相配的接触套筒(22)中的插入方向(26)的长度区域中在其整个周向上在内侧贴靠在限定接触套筒(22)的插入开口(24)的壁上。
接触元件电机自由线圈导体端部处布置结构用于机动车提供方法以及

[发明专利]用于检查和/或成像样品的带电粒子束装置和方法-CN202180025073.4有效
发明人： D·温克勒;B·沃勒特;B·夏宾格 -专利权人： ICT半导体集成电路测试有限公司
申请日： 2021-03-09 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： H01J37/04 文献下载
摘要：描述了用于成像和/或检查样品140的带电粒子束装置10。带电粒子束装置包括：束发射器150，用于发射一次带电粒子束105；阻滞场装置100，用于在撞击样品之前阻滞一次束，阻滞场装置100包括物镜110和代理电极130；以及第一检测器120，用于代理电极与物镜之间的离轴背散射粒子。带电粒子束装置适于沿着光轴101将一次束引导至样品以用于释放信号粒子。代理电极包括允许一次带电粒子束和信号粒子通过的一个开口131，其中一个开口经设置大小以允许从样品背散射的带电粒子相对于光轴以0°至20°或更高的角度通过。此外描述了用于利用带电粒子束装置成像和/或检查样品的方法。
用于检查成像样品带电粒子束装置方法

[发明专利]转子-CN201880036749.8有效
发明人： D·迪里西克;T·里内克尔;P·施拉格;D·温克勒 -专利权人：宝马股份公司
申请日： 2018-07-19 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： H02K15/12 文献下载
摘要：本发明涉及一种转子、尤其是电机的转子，该转子包括基体和至少一个金属端板，该端板在基体上设置在端侧，其中，基体和所述至少一个端板设置有连续层，并且该层是注射成型的。
转子

[发明专利]用于检查和/或成像样品的带电粒子束装置和方法-CN202180032855.0在审
发明人： D·温克勒;B·沃勒特;B·夏宾格 -专利权人： ICT半导体集成电路测试有限公司
申请日： 2021-03-09 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： H01J37/04 文献下载
摘要：描述成像和/或检查样品140的带电粒子束装置10。带电粒子束装置包括：发射一次带电粒子束105的束发射器150，带电粒子束装置适于沿光轴101将一次带电粒子束引导至样品以释放信号粒子；在撞击样品前阻滞一次带电粒子束的阻滞场装置100，阻滞场装置包括物镜110和代理电极130，其中代理电极包括允许一次带电粒子束和信号粒子通过的开口131；代理电极与物镜间的离轴背散射粒子的第一检测器120；以及放大第一检测器信号的前置放大器121，其中前置放大器为下列至少一者：(i)与第一检测器整合，(ii)在带电粒子束装置真空外壳102内侧邻近第一检测器布置，及(iii)固定安装在带电粒子束装置真空腔室中。也描述利用带电粒子束装置成像和/或检查样品的方法。
用于检查成像样品带电粒子束装置方法

[发明专利]操作带电粒子枪的方法、带电粒子枪和带电粒子束装置-CN202180011956.X在审
发明人： D·温克勒 -专利权人： ICT半导体集成电路测试有限公司
申请日： 2021-01-07 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： H01J37/073 文献下载
摘要：描述一种操作带电粒子枪(102)的方法。所述方法包括：在所述带电粒子枪内设置处于第一发射极电位的发射极(122)，并且在所述带电粒子枪内设置处于第一电极电位的捕获电极(142)，其中所述第一发射极电位和所述第一电极电位被设置以在所述发射极处且在所述捕获电极处具有基本为零的电场；将所述捕获电极从所述第一电极电位切换至与所述第一电极电位不同的第二电极电位，以在所述捕获电极处生成静电捕获场；以及在将所述捕获电极从所述第一电极电位切换至所述第二电极电位之后，开启所述发射极处的静电发射场。
操作带电粒子方法粒子束装置

[发明专利]用于检查样本的方法及带电粒子束装置-CN201980101525.5在审
发明人： P·库鲁伊特;R·纳夫塔利;J·弗罗西恩;R·施密特;B·J·库克;R·巴迪;D·温克勒 -专利权人：应用材料以色列公司;代尔夫特理工大学
申请日： 2019-10-21 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： H01J37/28 文献下载
摘要：描述了一种用于辐照或检查样本的带电粒子束装置。带电粒子束装置包括用于产生初级带电粒子束的带电粒子束源以及具有用于形成四个或更多个初级的多个孔隙的多孔隙透镜板。提供具有用于初级带电粒子束或四个或更多个初级子束的一个开口的两个或更多个电极(例如，每个电极具有一个开口)。带电粒子束装置进一步包括准直器，以用于使四个或更多个初级子束中的第一初级子束、第二初级子束、第三初级子束、以及第四初级子束相对于彼此偏转。带电粒子束装置进一步包括具有三个或更多个电极的物镜单元，每个电极具有用于四个或更多个初级子束的开口。带电粒子束装置进一步包括用于支撑样本的平台。
用于检查样本方法带电粒子束装置

[发明专利]用于制造用于电机的转子的方法以及转子和机动车-CN201880042868.4有效
发明人： P·施拉格;D·杜里西克;T·里内克尔;D·温克勒 -专利权人：宝马股份公司
申请日： 2018-06-25 - 公布日： 2022-03-04 - 主分类号： H02K15/12 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于制造具有至少一个叠片组(3)的用于电机的转子(1)的方法，在该方法中，通过注射成型使所述转子(1)的至少一个子区域(5)设有塑料(6)，所述方法具有如下步骤：提供至少一个沿所述转子(1)的轴向方向跟随着所述叠片组(3)的盘(4)，借助所述盘沿所述转子(1)的轴向方向至少大部分地限制所述子区域(5)；并且沿转子(1)的轴向方向在盘(4)与叠片组(3)之间设置用于密封子区域(5)的至少一个密封元件(13)，并且借助注射成型：将所述塑料(6)通过所述盘(4)的至少一个通入所述子区域(5)中的贯通开口(10)注入所述子区域(5)中。本发明还涉及一种用于电机的转子和一种机动车。
用于制造电机转子方法以及机动车

[发明专利]用于带电粒子设备的分束器-CN202080012386.1在审
发明人： D·温克勒;B·J·库克 -专利权人： ICT半导体集成电路测试有限公司
申请日： 2020-03-12 - 公布日： 2021-09-17 - 主分类号： H01J37/147 文献下载
摘要：公开了一种用于从带电粒子源产生多个带电粒子射束的分束器。分束器包括多个射束偏转器，各个射束偏转器沿着光学轴通过射束。各个射束偏转器包括低阶元件及相对应的高阶元件。各个低阶元件具有比各个相对应的高阶元件要少的电极；且各个低阶元件为多个低阶元件中的一个；且各个相对应的高阶元件为多个高阶元件中的一个中的一个。
用于带电粒子设备分束器

[发明专利]用于操作具有多个细束的带电粒子装置的装置和方法-CN202080013100.1在审
发明人： B·J·库克;D·温克勒;R·施密特 -专利权人： ICT半导体集成电路测试有限公司
申请日： 2020-01-22 - 公布日： 2021-09-17 - 主分类号： H01J37/147 文献下载
摘要：公开了一种操作带电粒子束装置的方法，所述方法包括使多个细束中的每个细束依序通过偏转器(6)和扫描仪(12)。用物镜将细束中的每个细束聚焦在样本上以形成多个焦斑，从而形成阵列。第一细束(4A)聚焦在第一光斑(40A)上，并且第二细束(4D)聚焦在第二光斑(40D)上。在装置的居中配置中，多个细束中的每个细束由偏转器引导朝向无彗差点(100)。在装置的细束移位的配置中，扫描仪被扫描，使得第一细束通过可接受的像差点(105)，第一细束扫描经移位的第一视场；并且第一光斑从规则的第一焦斑移位到经移位的第一焦斑(45A)。
用于操作具有多个细束带电粒子装置方法

[发明专利]用于变速器的润滑装置以及包括所述润滑装置的变速器-CN201680053524.4有效
发明人： R·格伦德勒;M·赫尔曼;T·施密特;D·戈林;D·温克勒 -专利权人：腓特烈斯港齿轮工厂股份公司
申请日： 2016-08-24 - 公布日： 2021-02-19 - 主分类号： F16H57/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于变速器的润滑装置以及一种具有该润滑装置的变速器。该润滑装置包括一个轴(1)，该轴包括一个轴向孔(3)以及多个沿轴向隔开地设置的径向孔(6a、6b、6c)，所述径向孔(6a、6b、6c)通入到所述轴向孔(3)中并且将输送给所述轴向孔(3)的润滑剂继续引导到设置在轴(1)外部的构件上，并且在至少一个所述径向孔(6a、6b)中嵌入管(8a、8b)，该管越过轴向孔(3)的存在于径向孔(6a、6b)的区域中的外周面(4)沿径向向内伸入到轴向孔(3)中。建议，为了调节通过径向孔(6a、6b、6c)流出的体积流量，每个所述管(8a、8b)在其朝向轴(1)的中轴线(2)的管端部(10a、10b)上具有槽缝(11a、11b)，该槽缝沿相应的管(8a、8b)的中轴线(9a、9b)延伸到轴向孔(3)的内部空间中。
用于变速器润滑装置以及包括

[发明专利]用于电机的定子-CN201980043002.X在审
发明人： T·里内克尔;U·伯迈斯特;P·施拉格;D·温克勒 -专利权人：宝马股份公司
申请日： 2019-07-23 - 公布日： 2021-02-05 - 主分类号： H02K3/50 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于电机的定子，其包括成形棒绕组，其中，该成形棒绕组由多个成形棒构成，这些成形棒在绕组头的区域中具有连接部位，其中，所述连接部位由浇注层包围，并且所述浇注层的厚度由护套元件预先给定，该护套元件轮廓相近地设置在绕组头上。
用于电机定子

[发明专利]用于减小自动变速器中的拖曳力矩的设备-CN201610351359.2有效
发明人： M·赫尔曼;T·施密特;G·马丁;A·穆辛;R·格伦德勒;D·温克勒;V·文森特 -专利权人：腓特烈斯港齿轮工厂股份公司
申请日： 2016-05-25 - 公布日： 2020-04-10 - 主分类号： F16H57/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于减小自动变速器中的拖曳力矩的设备，所述自动变速器包括摩擦片式切换元件、液力变矩器和变矩器跨接离合器，所述摩擦片式切换元件、液力变矩器和变矩器跨接离合器通过具有冷却器(1)的液压控制装置控制，所述设备在液压控制装置中在冷却器上游具有在超过压力阈值时克服弹簧力在朝向冷却器的流动方向上打开的限压阀(2)、保证最小流量的恒定节流器(3)和能与温度相关地切换的在超过温度阈值时打开的节流器(4)的并联结构，使得在低温和低系统压力时保证最小润滑和最小冷却，因为在温度低于预定的温度阈值时能与温度相关地切换的节流器保持关闭并且在压力低于预定的压力阈值时限压阀保持关闭。
用于减小自动变速器中的拖曳力矩设备

[发明专利]用于管理虚拟环境的动态设计数据的系统和方法-CN201880017295.X在审
发明人： N·斯宾塞;D·温克勒;G·吉莱斯皮 -专利权人： MZ知识产权控股有限责任公司
申请日： 2018-01-10 - 公布日： 2019-10-29 - 主分类号： G06F8/71 文献下载
摘要：本公开的实施方式针对有助于虚拟环境设计数据的部署的计算机实施方法、系统和物品，由此为环境的用户产生新体验，而不需要重新部署实例化环境的应用的整个代码库或核心处理功能。在一个实施例中，设计工具接收虚拟环境(例如在线多玩家游戏的背景)的环境设计参数，其包括由设计参数限定的元素和主功能代码库，并且产生虚拟环境的版本，每个版本包括独立于主功能代码库的设计参数的子集。版本被分派到虚拟环境的一个或多个用户并分配给用户，而不需要分配主功能代码库。
虚拟环境代码库主功能设计参数核心处理功能计算机实施分派动态设计环境设计设计工具设计数据实例化分配子集部署游戏应用管理

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