[发明专利]用于转速传感器的微机械构件及其制造方法、转速传感器在审
| 申请号： | 202180031780.4 | 申请日： | 2021-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN115461595A | 公开（公告）日： | 2022-12-09 |
| 发明（设计）人： | R·舍本;R·毛尔;M·屈内尔;S·梅尔基施;T·巴尔斯林科;N·F·库尔曼;W·盖格尔 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/5769 | 分类号： | G01C19/5769;G01C19/5712 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 郭毅 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于转速传感器的具有关于垂直于衬底表面(10)定向且与这些转子质量在中心相交的第一对称平面(14)镜像对称并且可被置于围绕垂直于该衬底表面定向的旋转轴线(18a，18b)的扭转振动运动(16a，16b)中的两个转子质量(12a，12b)，和关于第一对称平面镜像对称并且可借助转子质量平行于第一对称平面地偏转的四个振动质量(22a，22b，24a和24b)的微机械构件，第一转子质量(12a)和附接在第一转子质量上的第一对振动质量(22a，22b)关于垂直于该衬底表面及第一对称平面定向的第二对称平面(26)与第二转子质量(12b)和附接在第二转子质量上的第二对振动质量(24a，24b)镜像对称。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 转速 传感器 微机 构件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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- 2021-04-14 - 2022-12-09 - G01C19/5769
- 一种用于转速传感器的具有关于垂直于衬底表面(10)定向且与这些转子质量在中心相交的第一对称平面(14)镜像对称并且可被置于围绕垂直于该衬底表面定向的旋转轴线(18a，18b)的扭转振动运动(16a，16b)中的两个转子质量(12a，12b)，和关于第一对称平面镜像对称并且可借助转子质量平行于第一对称平面地偏转的四个振动质量(22a，22b，24a和24b)的微机械构件，第一转子质量(12a)和附接在第一转子质量上的第一对振动质量(22a，22b)关于垂直于该衬底表面及第一对称平面定向的第二对称平面(26)与第二转子质量(12b)和附接在第二转子质量上的第二对振动质量(24a，24b)镜像对称。
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