[实用新型]一种半导体芯片筋切成型外观质量检测装置有效
申请号: | 202123448189.5 | 申请日: | 2021-12-30 |
公开(公告)号: | CN217180566U | 公开(公告)日: | 2022-08-12 |
发明(设计)人: | 罗建华;师晓科;饶建红 | 申请(专利权)人: | 深圳市华拓半导体技术有限公司 |
主分类号: | G01N21/01 | 分类号: | G01N21/01;G01N21/95 |
代理公司: | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人: | 冯彬 |
地址: | 518100 广东省深圳市光明区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本申请涉及半导体领域,尤其是涉及一种半导体芯片筋切成型外观质量检测装置,包括检测主机和转动设置于所述检测主机上的箱门;所述检测主机上设置有锁紧机构,所述锁紧机构包括支架、防脱杆、防脱块和弹簧;所述支架固定于所述检测主机上,所述防脱杆穿过所述支架并与所述支架滑移配合;所述检测主机上开设有滑移孔,所述防脱杆穿过所述滑移孔并与所述滑移孔滑移配合;所述箱门上开设有防脱孔,所述防脱杆靠近所述箱门的一端与所述防脱孔滑移配合;所述防脱块固定于所述防脱杆上,所述弹簧套设于所述防脱杆上,所述弹簧的一端抵接于所述防脱块,所述弹簧的另一端抵接于所述支架。本申请能够限制关闭后的箱门发生转动。 | ||
搜索关键词: | 一种 半导体 芯片 切成 外观 质量 检测 装置 | ||
【主权项】:
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