[实用新型]一种半导体芯片筋切成型外观质量检测装置有效

专利信息
申请号: 202123448189.5 申请日: 2021-12-30
公开(公告)号: CN217180566U 公开(公告)日: 2022-08-12
发明(设计)人: 罗建华;师晓科;饶建红 申请(专利权)人: 深圳市华拓半导体技术有限公司
主分类号: G01N21/01 分类号: G01N21/01;G01N21/95
代理公司: 北京维正专利代理有限公司 11508 代理人: 冯彬
地址: 518100 广东省深圳市光明区*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 本申请涉及半导体领域,尤其是涉及一种半导体芯片筋切成型外观质量检测装置,包括检测主机和转动设置于所述检测主机上的箱门;所述检测主机上设置有锁紧机构,所述锁紧机构包括支架、防脱杆、防脱块和弹簧;所述支架固定于所述检测主机上,所述防脱杆穿过所述支架并与所述支架滑移配合;所述检测主机上开设有滑移孔,所述防脱杆穿过所述滑移孔并与所述滑移孔滑移配合;所述箱门上开设有防脱孔,所述防脱杆靠近所述箱门的一端与所述防脱孔滑移配合;所述防脱块固定于所述防脱杆上,所述弹簧套设于所述防脱杆上,所述弹簧的一端抵接于所述防脱块,所述弹簧的另一端抵接于所述支架。本申请能够限制关闭后的箱门发生转动。
搜索关键词: 一种 半导体 芯片 切成 外观 质量 检测 装置
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