[实用新型]一种用于氮化镓单晶生长的反应装置有效
| 申请号： | 202122740180.5 | 申请日： | 2021-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN216192880U | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 张华芹;张冬翔;李广敏 | 申请（专利权）人： | 上海韵申新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/40 | 分类号： | C30B29/40;C30B7/14;C30B9/00 |
| 代理公司： | 上海愉腾专利代理事务所(普通合伙) 31306 | 代理人： | 谢小军 |
| 地址： | 201612 上海市松江区漕河泾开发*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于氮化镓单晶生长的反应装置，包括反应炉体，所述反应炉体内设有用于氮化镓单晶生长的反应腔，所述反应腔内设有隔板并通过隔板分割为第一反应空间和第二反应空间，所述第一反应空间用于溶解氮化镓形成离子化中间复合物，所述第二反应空间内设有籽晶用于生成氮化镓单晶，所述隔板用于将离子化中间复合物从第一反应空间转移至第二反应空间，所述炉体内还设有温控系统和加压系统。本实用新型提供的用于氮化镓单晶生长的反应装置，通过控制第一反应空间和第二反应空间为不同的温度，及隔板控制氮化镓单晶生长过程中的传质流量和方向，实现氮化镓单晶的平衡型生长，有效降低位错密度，提高产率，大大提高晶体的品质。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 氮化 镓单晶 生长 反应 装置 | ||
【主权项】：
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