[实用新型]一种氮化镓单晶生长装置有效
| 申请号： | 202122740145.3 | 申请日： | 2021-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN216192879U | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 张华芹;程佳彪;李广敏 | 申请（专利权）人： | 上海韵申新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/40 | 分类号： | C30B29/40;C30B9/10 |
| 代理公司： | 上海愉腾专利代理事务所(普通合伙) 31306 | 代理人： | 谢小军 |
| 地址： | 201612 上海市松江区漕河泾开发*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种氮化镓单晶生长装置，包括具有反应腔的反应炉体、温控系统和加压系统，其特征在于，所述反应腔内设有缓冲层，所述缓冲层将反应腔分割为第一反应空间和第二反应空间，并可通过缓冲层将反应物从第一反应空间转移至第二反应空间，所述温控系统包括设置在第一反应空间外侧的第一加热器、设置在第二反应空间外侧的第二加热器和设置在整个反应腔内的热电偶，所述两个反应空间的温度可单独调控，所述加压系统包括加压装置和设置在反应腔内的压力传感器。本实用新型提供的氮化镓单晶生长装置，通过单独调控两个反应空间的温度，及缓冲层控制传质流量和方向，实现氮化镓单晶的平衡型生长，有效降低位错密度，提高产率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氮化 镓单晶 生长 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海韵申新能源科技有限公司，未经上海韵申新能源科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202122740145.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种便于使用的监控摄像头清洗装置
- 下一篇：一种电子水泵过线架结构
