[实用新型]一种芯片生产制造用冷却装置

摘要

本实用新型公开了一种芯片生产制造用冷却装置，涉及芯片生产制造技术领域，包括主体，所述主体的内部开设有滑槽，所述滑槽的内部活动连接有托架，所述托架的上端下表面开设有多个凹槽，多个所述凹槽呈矩形阵列分布且内部均活动连接有滚珠，所述托架的顶端固定连接有底板，所述托架的上端内部开设有螺纹孔，所述底板的内部贯穿并活动连接有螺栓，所述螺栓的底端与螺纹孔相适配。本实用新型通过主体底端的撑板可以对电机进行支撑，通过电机可以驱动齿轮旋转，从而与齿带相适配，进而可以使托架在滑槽内部滑动，通过凹槽内部的滚珠可以使托架的滑动更加流畅，通过贯穿底板并与螺纹孔相连的螺栓可以实现拖盘与托架的连接。