[实用新型]用于具有FP腔的MEMS滤光片的测试夹具有效
| 申请号： | 202122496279.5 | 申请日： | 2021-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN216207434U | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 张云昊;刘舒扬;张晨;王天鹤;赵安娜;周志远;潘建旋;姜洪妍;王才喜 | 申请（专利权）人： | 天津津航技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01M11/00 | 分类号： | G01M11/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300308 天津市东*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种用于具有FP腔的MEMS滤光片的测试夹具，该用于具有FP腔的MEMS滤光片的测试夹具包括：本体，本体位于单光仪光路内，本体具有通光孔；待测样品放置台，待测样品放置台位于本体的第一侧上，具有FP腔的MEMS滤光片置于待测样品放置台上时与通光孔位于同一光路内；样品挡片组件，样品挡片组件位于本体的第一侧上，通过调整样品挡片组件与待测样品放置台之间的位置关系以调整具有FP腔的MEMS滤光片在竖直方向的倾斜角度；电气连接组件，电气连接组件位于本体的第一侧上，电气连接组件与具有FP腔的MEMS滤光片电连接。应用本实用新型的技术方案，能够解决现有技术中滤光片位姿自由度不足导致无法实现MEMS滤光片在不同角度下通光测试的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 具有 fp mems 滤光 测试 夹具 | ||
【主权项】：
暂无信息
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