[实用新型]用于具有FP腔的MEMS滤光片的测试夹具

权利要求书

1.一种用于具有FP腔的MEMS滤光片的测试夹具，其特征在于，所述用于具有FP腔的MEMS滤光片的测试夹具包括：

本体(10)，所述本体(10)位于单光仪光路内，所述本体(10)具有通光孔(10a)；

待测样品放置台(20)，所述待测样品放置台(20)位于所述本体(10)的第一侧上，具有FP腔的MEMS滤光片置于所述待测样品放置台(20)上时与所述通光孔(10a)位于同一光路内；

样品挡片组件(30)，所述样品挡片组件(30)位于所述本体(10)的第一侧上，通过调整所述样品挡片组件(30)与所述待测样品放置台(20)之间的位置关系以调整具有FP腔的MEMS滤光片在竖直方向的倾斜角度；

电气连接组件(40)，所述电气连接组件(40)位于所述本体(10)的第一侧上，所述电气连接组件(40)与具有FP腔的MEMS滤光片电连接。

2.根据权利要求1所述的用于具有FP腔的MEMS滤光片的测试夹具，其特征在于，所述样品挡片组件(30)包括：

连接件(31)，所述连接件(31)与所述本体(10)固定连接；

挡片(32)，所述挡片(32)可移动地设置在所述连接件(31)上，具有FP腔的MEMS滤光片位于所述待测样品放置台(20)与所述挡片(32)之间；

紧固件(33)，通过所述紧固件(33)固定所述挡片(32)在所述连接件(31)上的位置。

3.根据权利要求2所述的用于具有FP腔的MEMS滤光片的测试夹具，其特征在于，所述待测样品放置台(20)与所述挡片(32)之间的距离大于或等于具有FP腔的MEMS滤光片的厚度。

4.根据权利要求2所述的用于具有FP腔的MEMS滤光片的测试夹具，其特征在于，所述连接件(31)的数量为多个，所述紧固件(33)的数量为多个，所述连接件(31)的数量与所述紧固件(33)的数量相同，多个所述紧固件(33)与多个所述连接件(31)一一对应设置。

5.根据权利要求2所述的用于具有FP腔的MEMS滤光片的测试夹具，其特征在于，所述挡片(32)为π型挡片，所述π型挡片具有一个横梁和两个竖梁，两个所述竖梁相间隔平行设置且分别与所述横梁连接，所述横梁与所述连接件(31)可移动地连接，并通过所述紧固件(33)固定所述横梁在所述连接件(31)上的位置。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的用于具有FP腔的MEMS滤光片的测试夹具，其特征在于，所述用于具有FP腔的MEMS滤光片的测试夹具还包括孔径调制片放置台(50)，所述孔径调制片放置台(50)用于放置孔径调制片(60)；所述孔径调制片放置台(50)位于所述本体(10)的一侧上，所述孔径调制片放置台(50)、所述孔径调制片(60)与所述通光孔(10a)位于同一光路内。

7.根据权利要求6所述的用于具有FP腔的MEMS滤光片的测试夹具，其特征在于，所述孔径调制片放置台(50)位于所述本体(10)的第一侧上，所述孔径调制片放置台(50)位于所述本体(10)与所述待测样品放置台(20)之间，所述孔径调制片(60)位于所述孔径调制片放置台(50)上，所述孔径调制片(60)位于所述孔径调制片放置台(50)与所述待测样品放置台(20)之间。

8.根据权利要求6所述的用于具有FP腔的MEMS滤光片的测试夹具，其特征在于，所述孔径调制片放置台(50)位于所述本体(10)的第二侧上，所述孔径调制片(60)位于所述孔径调制片放置台(50)与所述本体(10)之间。

9.根据权利要求1至5中任一项所述的用于具有FP腔的MEMS滤光片的测试夹具，其特征在于，所述电气连接组件(40)包括双路电连接器(41)和两个导线夹(42)，所述双路电连接器(41)通过两个所述导线夹(42)与具有FP腔的MEMS滤光片电连接。

10.根据权利要求9所述的用于具有FP腔的MEMS滤光片的测试夹具，其特征在于，所述双路电连接器(41)在所述本体(10)的内部与两个所述导线夹(42)电气连接。