[实用新型]用于具有FP腔的MEMS滤光片的测试夹具

说明书

本实用新型提供了一种用于具有FP腔的MEMS滤光片的测试夹具，该用于具有FP腔的MEMS滤光片的测试夹具包括：本体，本体位于单光仪光路内，本体具有通光孔；待测样品放置台，待测样品放置台位于本体的第一侧上，具有FP腔的MEMS滤光片置于待测样品放置台上时与通光孔位于同一光路内；样品挡片组件，样品挡片组件位于本体的第一侧上，通过调整样品挡片组件与待测样品放置台之间的位置关系以调整具有FP腔的MEMS滤光片在竖直方向的倾斜角度；电气连接组件，电气连接组件位于本体的第一侧上，电气连接组件与具有FP腔的MEMS滤光片电连接。应用本实用新型的技术方案，能够解决现有技术中滤光片位姿自由度不足导致无法实现MEMS滤光片在不同角度下通光测试的技术问题。

技术领域

本实用新型涉及滤光片检测工装技术领域，尤其涉及一种用于具有FP腔的MEMS滤光片的测试夹具。

背景技术

目前，现有技术中并没有为大孔径MEMS滤光片设计的专用夹具。现有滤光片夹具一般使用常规光机件。当应用于MEMS滤光片测试场景时，主要存在以下不足：1、现有夹具上没有电气连接接口。MEMS滤光片工作时，需要用直流电驱动微机电系统，以改变滤光片上FP腔的厚度，达到改变滤光波长的目的。而进行测试操作时，供电导线通常只能通过焊接的方式连接至MEMS滤光片，而传统滤光片夹具一般没有电气接口，外部直流电源的输出线只能通过鳄鱼夹等部件再连接至MEMS滤光片上焊接的供电导线。这样的接线方式，一是供电线并无固定机构，容易发生触碰、短路的情况，二是供电线很可能会牵动MEMS滤光片发生意外移动，影响测试进行。2、现有夹具无法为滤光片制造足够的位姿自由度。现有夹具往往只能调整垂直于光照方向的高度和水平位置，无法为MEMS滤光片调整俯仰自由度。无法测试MEMS滤光片在不同角度下的通光情况。3、现有夹具不易改变照射通光孔径。现有夹具一般具备固定孔径通光孔，不易改变，而在光路上加装手动可调光阑又会占用有限的测试光路空间，为测试工作引入不必要的复杂度和不确定性。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。

本实用新型提供了一种用于具有FP腔的MEMS滤光片的测试夹具，该用于具有FP腔的MEMS滤光片的测试夹具包括：本体，本体位于单光仪光路内，本体具有通光孔；待测样品放置台，待测样品放置台位于本体的第一侧上，具有FP腔的MEMS滤光片置于待测样品放置台上时与通光孔位于同一光路内；样品挡片组件，样品挡片组件位于本体的第一侧上，通过调整样品挡片组件与待测样品放置台之间的位置关系以调整具有FP腔的MEMS滤光片在竖直方向的倾斜角度；电气连接组件，电气连接组件位于本体的第一侧上，电气连接组件与具有FP腔的MEMS滤光片电连接。

进一步地，样品挡片组件包括：连接件，连接件与本体固定连接；挡片，挡片可移动地设置在连接件上，具有FP腔的MEMS滤光片位于待测样品放置台与挡片之间；紧固件，通过紧固件固定挡片在连接件上的位置。

进一步地，待测样品放置台与挡片之间的距离大于或等于具有FP腔的MEMS滤光片的厚度。

进一步地，连接件的数量为多个，紧固件的数量为多个，连接件的数量与紧固件的数量相同，多个紧固件与多个连接件一一对应设置。

进一步地，挡片为π型挡片，π型挡片具有一个横梁和两个竖梁，两个竖梁相间隔平行设置且分别与横梁连接，横梁与连接件可移动地连接，并通过紧固件固定横梁在连接件上的位置。

进一步地，用于具有FP腔的MEMS滤光片的测试夹具还包括孔径调制片放置台和孔径调制片，孔径调制片放置台位于本体的一侧上，孔径调制片放置台、孔径调制片与通光孔位于同一光路内。

进一步地，孔径调制片放置台位于本体的第一侧上，孔径调制片放置台位于本体与待测样品放置台之间，孔径调制片位于孔径调制片放置台上，孔径调制片位于孔径调制片放置台与待测样品放置台之间。

进一步地，孔径调制片放置台位于本体的第二侧上，孔径调制片位于孔径调制片放置台与本体之间。