[实用新型]一种碳化硅单晶炉用红外测温装置有效

专利信息
申请号: 202121915771.5 申请日: 2021-08-16
公开(公告)号: CN215800050U 公开(公告)日: 2022-02-11
发明(设计)人: 张冬;李文勇;陈荣坤;田茗文 申请(专利权)人: 河北天达晶阳半导体技术股份有限公司
主分类号: C30B29/36 分类号: C30B29/36;C30B35/00;F27D21/04
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 054000 河*** 国省代码: 河北;13
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摘要: 实用新型公开了一种碳化硅单晶炉用红外测温装置,涉及碳化硅单晶炉用具技术领域;包括安装板体、触摸显示屏、安装套、红外测温探头、上盖板、电气箱、单片机;安装板体的上端安装有安装套,安装套的上端安装有上盖板,上盖板的下端安装有红外测温探头,红外测温探头通过导线与单片机的输入端电连接,单片机与电源模块均安装在电气箱内,电气箱的外侧壁上安装有触摸显示屏,电源模块与单片机的电源端连接,单片机的输入端与红外测温探头连接,单片机的输入、输出端与触摸显示屏连接;本实用新型便于实现快速安装以及测温,其能够实现数显式温度,并且稳定性高;结构简单,且设计合理,能够实现快速操作,使用方便,操作简便。
搜索关键词: 一种 碳化硅 单晶炉用 红外 测温 装置
【主权项】:
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