[实用新型]一种碳化硅单晶炉用红外测温装置有效
| 申请号： | 202121915771.5 | 申请日： | 2021-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN215800050U | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 张冬;李文勇;陈荣坤;田茗文 | 申请（专利权）人： | 河北天达晶阳半导体技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B35/00;F27D21/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 054000 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 单晶炉用 红外 测温 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种碳化硅单晶炉用红外测温装置，其特征在于：包括安装板体、触摸显示屏、安装套、红外测温探头、上盖板、电气箱、单片机；安装板体的上端安装有安装套，安装套的上端安装有上盖板，上盖板的下端安装有红外测温探头，红外测温探头通过导线与单片机的输入端电连接，单片机与电源模块均安装在电气箱内，电气箱的外侧壁上安装有触摸显示屏，电源模块与单片机的电源端连接，单片机的输入端与红外测温探头连接，单片机的输入、输出端与触摸显示屏连接。
2.根据权利要求1所述的一种碳化硅单晶炉用红外测温装置，其特征在于：所述安装板体的内边缘处开设有数个安装孔，安装板体的中部为通孔，安装板体的底部安装有密封垫。
3.根据权利要求1所述的一种碳化硅单晶炉用红外测温装置，其特征在于：所述电气箱的后侧壁上安装有固定支架。
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