[实用新型]一种自动化输送线上硅片的排列和定位装置

摘要

本实用新型公开了一种自动化输送线上硅片的排列和定位装置，自动化输送线包括至少两根皮带构成的硅片输送线，排列和定位装置包括沿硅片自动化输送线运动方向依次排列的定位模块，以及对应每个定位模块的传感器和顶升机构；定位模块的数量对应硅片输送方向上的硅片数量；定位模块包括定位底板，以及设置在定位底板上表面并分别对应硅片运行方向前后两侧的前后挡板及左右两侧的侧边挡板，定位模块通过定位底板固定在所述顶升机构上。本实用新型的传感器感应到来片时，通过顶升机构将定位模块顶起，在定位模块上设置有由前后挡板及侧边挡板组成的硅片自动限位机构，利用挡板内侧的斜坡使硅片实现动态精准稳定定位。