[实用新型]一种自动化输送线上硅片的排列和定位装置

权利要求书

1.一种自动化输送线上硅片的排列和定位装置，所述自动化输送线包括至少两根皮带(10)构成的硅片输送线，其特征在于：

所述排列和定位装置包括沿所述硅片自动化输送线运动方向依次排列的定位模块(30)，以及对应每个所述定位模块(30)的传感器(20)和顶升机构；所述定位模块(30)的数量对应硅片输送方向上的硅片数量；

所述定位模块(30)包括定位底板(33)，以及设置在所述定位底板(33)上表面并分别对应硅片运行方向前后两侧的前后挡板(32)及左右两侧的侧边挡板(31)，所述定位模块(30)通过定位底板(33)固定在所述顶升机构上；

所述传感器(20)设置在所述定位模块(30)内。

2.根据权利要求1所述的一种自动化输送线上硅片的排列和定位装置，其特征在于，所述前后挡板(32)对应硅片的一侧设置有向内的斜坡且前后向斜坡之间的上边缘间距大于硅片的前后向长度，所述侧边挡板(31)对应硅片的一侧设置有向内的斜坡且左右向斜坡之间的上边缘间距大于硅片的左右向长度。

3.根据权利要求2所述的一种自动化输送线上硅片的排列和定位装置，其特征在于，所述斜坡的表面具有特氟龙涂层，以通过采用硬质低摩擦系数的材料确保硅片在斜坡上滑动顺畅。

4.根据权利要求2所述的一种自动化输送线上硅片的排列和定位装置，其特征在于，所述定位底板(33)的上侧还设置有位于所述前后挡板(32)与侧边挡板(31)之间的托举平台(34)，所述托举平台(34)的上表面高度低于所述前后挡板(32)及侧边挡板(31)的斜坡上边缘高度。

5.根据权利要求4所述的一种自动化输送线上硅片的排列和定位装置，其特征在于，所述托举平台(34)的上表面还设置有缓冲垫片(35)，所述缓冲垫片(35)的数量及位置与对应硅片吸盘的数量及位置一一对应。