[实用新型]一种管式气相沉积炉

摘要

本实用新型涉及气相炉设备技术领域，更具体的说是一种管式气相沉积炉。本实用新型提供一种管式气相沉积炉，其有益效果为可以实现使待加工物体均匀分布在管内，无法使得气体与待加工物体充分接触。一种管式气相沉积炉，包括管体、进料口、气孔、加热箱、连接板和底座，管体两端均设有进料口和气孔，加热箱滑动连接在管体上，管体连接在连接板上，连接板转动连接在底座上。一种管式气相沉积炉还包括挡片、固定螺栓和固定环，管体上可拆卸连接有两个挡片，多个固定螺栓分别螺纹连接在两个挡片上，两个固定环均固定连接在连接板上，两个固定环上设有多个螺纹孔，管体能够穿过两个固定环。