[实用新型]一种管式气相沉积炉有效
申请号: | 202121536967.3 | 申请日: | 2021-07-07 |
公开(公告)号: | CN214937791U | 公开(公告)日: | 2021-11-30 |
发明(设计)人: | 董家海 | 申请(专利权)人: | 浙江诺华陶瓷有限公司 |
主分类号: | C23C16/44 | 分类号: | C23C16/44;C23C16/455;C23C16/458 |
代理公司: | 北京君恒知识产权代理有限公司 11466 | 代理人: | 王恒 |
地址: | 322100 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 管式气相 沉积 | ||
1.一种管式气相沉积炉,其特征在于:包括管体(101)、进料口(102)、气孔(103)、加热箱(201)、连接板(301)和底座(401),管体(101)两端均设有进料口(102)和气孔(103),加热箱(201)滑动连接在管体(101)上,管体(101)连接在连接板(301)上,连接板(301)转动连接在底座(401)上。
2.根据权利要求1所述的一种管式气相沉积炉,其特征在于:还包括挡片(104)、固定螺栓(105)和固定环(302),管体(101)上可拆卸连接有两个挡片(104),多个固定螺栓(105)分别螺纹连接在两个挡片(104)上,两个固定环(302)均固定连接在连接板(301)上,两个固定环(302)上设有多个螺纹孔,管体(101)能够穿过两个固定环(302)。
3.根据权利要求2所述的一种管式气相沉积炉,其特征在于:还包括减速电机(303)和丝杠(304),丝杠(304)固定连接在减速电机(303)的输出轴上,丝杠(304)转动连接在两个固定环(302)上,加热箱(201)螺纹连接在丝杠(304)上。
4.根据权利要求3所述的一种管式气相沉积炉,其特征在于:还包括限位条(305),两个限位条(305)固定连接在连接板(301)上,加热箱(201)滑动连接在两个限位条(305)上。
5.根据权利要求4所述的一种管式气相沉积炉,其特征在于:还包括分隔板(107),管体(101)内中部固定连接有分隔板(107)。
6.根据权利要求5所述的一种管式气相沉积炉,其特征在于:还包括均分板(106),多个均分板(106)均固定连接在管体(101)内。
7.根据权利要求6所述的一种管式气相沉积炉,其特征在于:还包括滑槽(306)和传动部(403),连接板(301)上设置有两个滑槽(306),两个传动部(403)分别滑动连接在两个滑槽(306)内。
8.根据权利要求7所述的一种管式气相沉积炉,其特征在于:还包括液压缸(402),两个传动部(403)分别固定连接在两个液压缸(402)上,两个液压缸(402)均固定连接在连接板(301)上。
9.根据权利要求8所述的一种管式气相沉积炉,其特征在于:还包括固定部(405),连接板(301)上连接有两个固定部(405),两个固定部(405)能够插入加热箱(201)下方。
10.根据权利要求9所述的一种管式气相沉积炉,其特征在于:还包括气缸(404),两个气缸(404)固定连接在连接板(301)上,两个固定部(405)固定连接在两个气缸(404)的伸缩杆上。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的