[实用新型]一种管式气相沉积炉有效

专利信息
申请号: 202121536967.3 申请日: 2021-07-07
公开(公告)号: CN214937791U 公开(公告)日: 2021-11-30
发明(设计)人: 董家海 申请(专利权)人: 浙江诺华陶瓷有限公司
主分类号: C23C16/44 分类号: C23C16/44;C23C16/455;C23C16/458
代理公司: 北京君恒知识产权代理有限公司 11466 代理人: 王恒
地址: 322100 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 管式气相 沉积
【权利要求书】:

1.一种管式气相沉积炉,其特征在于:包括管体(101)、进料口(102)、气孔(103)、加热箱(201)、连接板(301)和底座(401),管体(101)两端均设有进料口(102)和气孔(103),加热箱(201)滑动连接在管体(101)上,管体(101)连接在连接板(301)上,连接板(301)转动连接在底座(401)上。

2.根据权利要求1所述的一种管式气相沉积炉,其特征在于:还包括挡片(104)、固定螺栓(105)和固定环(302),管体(101)上可拆卸连接有两个挡片(104),多个固定螺栓(105)分别螺纹连接在两个挡片(104)上,两个固定环(302)均固定连接在连接板(301)上,两个固定环(302)上设有多个螺纹孔,管体(101)能够穿过两个固定环(302)。

3.根据权利要求2所述的一种管式气相沉积炉,其特征在于:还包括减速电机(303)和丝杠(304),丝杠(304)固定连接在减速电机(303)的输出轴上,丝杠(304)转动连接在两个固定环(302)上,加热箱(201)螺纹连接在丝杠(304)上。

4.根据权利要求3所述的一种管式气相沉积炉,其特征在于:还包括限位条(305),两个限位条(305)固定连接在连接板(301)上,加热箱(201)滑动连接在两个限位条(305)上。

5.根据权利要求4所述的一种管式气相沉积炉,其特征在于:还包括分隔板(107),管体(101)内中部固定连接有分隔板(107)。

6.根据权利要求5所述的一种管式气相沉积炉,其特征在于:还包括均分板(106),多个均分板(106)均固定连接在管体(101)内。

7.根据权利要求6所述的一种管式气相沉积炉,其特征在于:还包括滑槽(306)和传动部(403),连接板(301)上设置有两个滑槽(306),两个传动部(403)分别滑动连接在两个滑槽(306)内。

8.根据权利要求7所述的一种管式气相沉积炉,其特征在于:还包括液压缸(402),两个传动部(403)分别固定连接在两个液压缸(402)上,两个液压缸(402)均固定连接在连接板(301)上。

9.根据权利要求8所述的一种管式气相沉积炉,其特征在于:还包括固定部(405),连接板(301)上连接有两个固定部(405),两个固定部(405)能够插入加热箱(201)下方。

10.根据权利要求9所述的一种管式气相沉积炉,其特征在于:还包括气缸(404),两个气缸(404)固定连接在连接板(301)上,两个固定部(405)固定连接在两个气缸(404)的伸缩杆上。

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