[实用新型]一种半导体硅晶棒截断用定位切割设备有效
| 申请号: | 202120744128.4 | 申请日: | 2021-04-12 |
| 公开(公告)号: | CN214982278U | 公开(公告)日: | 2021-12-03 |
| 发明(设计)人: | 姚亚君 | 申请(专利权)人: | 科莱思半导体智造(浙江)有限公司 |
| 主分类号: | B28D5/02 | 分类号: | B28D5/02;B28D7/04;B28D7/00 |
| 代理公司: | 浙江永航联科专利代理有限公司 33304 | 代理人: | 樊岑遥 |
| 地址: | 314100 浙江省嘉兴市嘉善县罗星*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | 本实用新型涉及半导体加工技术领域,具体涉及一种半导体硅晶棒截断用定位切割设备,包括底座和加工台,还包括控制器、上料机构和下切机构,上料机构包括推杆和滑动组件,所述滑动组件设在底座的顶部,所述推杆固定设在滑动组件的顶部,所述下切机构包括刀片、电动滑台和驱动组件,底座的顶部固定设有立板,所述电动滑台呈竖直设在立板的顶部外壁上,所述驱动组件通过滑块滑动设在电动滑台上,所述刀片固定设在驱动组件上,滑动组件和驱动组件与控制器均为电性连接,本实用新型涉及的一种半导体硅晶棒截断用定位切割设备,可以满足不同截断长度的硅晶棒的切割要求,且切割精确,不会造成误差,进而提升了切割精度,实现了精加工。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 半导体 硅晶棒 截断 定位 切割 设备 | ||
【主权项】:
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