[实用新型]一种半导体硅晶棒截断用定位切割设备有效

专利信息
申请号: 202120744128.4 申请日: 2021-04-12
公开(公告)号: CN214982278U 公开(公告)日: 2021-12-03
发明(设计)人: 姚亚君 申请(专利权)人: 科莱思半导体智造(浙江)有限公司
主分类号: B28D5/02 分类号: B28D5/02;B28D7/04;B28D7/00
代理公司: 浙江永航联科专利代理有限公司 33304 代理人: 樊岑遥
地址: 314100 浙江省嘉兴市嘉善县罗星*** 国省代码: 浙江;33
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 半导体 硅晶棒 截断 定位 切割 设备
【权利要求书】:

1.一种半导体硅晶棒截断用定位切割设备,包括底座和加工台(1),其特征在于:还包括控制器、上料机构(2)和下切机构(3),所述上料机构(2)设在底座的顶部,上料机构(2)包括推杆(4)和滑动组件(5),所述滑动组件(5)设在底座的顶部,所述推杆(4)固定设在滑动组件(5)的顶部,所述下切机构(3)包括刀片(6)、电动滑台(7)和驱动组件(8),底座的顶部固定设有立板,所述电动滑台(7)呈竖直设在立板的顶部外壁上,所述驱动组件(8)通过滑块(9)滑动设在电动滑台(7)上,所述刀片(6)固定设在驱动组件(8)上,滑动组件(5)和驱动组件(8)与控制器均为电性连接。

2.根据权利要求1所述的一种半导体硅晶棒截断用定位切割设备,其特征在于:所述滑动组件(5)包括伺服电机(10)、第一连杆(11)、第二连杆(12)和滑板(13),所述伺服电机(10)固定设在底座的顶部,第一连杆(11)套设在其输出端上,第二连杆(12)铰接设置在第一连杆(11)远离伺服电机(10)的一端,所述滑板(13)滑动设置在底座的顶部,且第二连杆(12)远离第一连杆(11)的一端与滑板(13)铰接,推杆(4)固定设在滑板(13)的顶部,伺服电机(10)与控制器电连接。

3.根据权利要求2所述的一种半导体硅晶棒截断用定位切割设备,其特征在于:加工台(1)远离推杆(4)的顶部一端外壁上固定设有刻度值(14)。

4.根据权利要求3所述的一种半导体硅晶棒截断用定位切割设备,其特征在于:所述驱动组件(8)包括驱动电机(15)、第一锥齿轮(16)和第二锥齿轮(17),滑块(9)的外壁上固定设有支撑板,所述驱动电机(15)固定设在支撑板的底部,第一锥齿轮(16)套设在其输出端上,第二锥齿轮(17)通过旋转轴可转动的设置在支撑板的底部,旋转轴的另一端与刀片(6)固定连接,第一锥齿轮(16)和第二锥齿轮(17)啮合连接,驱动电机(15)与控制器电连接。

5.根据权利要求4所述的一种半导体硅晶棒截断用定位切割设备,其特征在于:滑块(9)的一端侧壁上固定设有齿条(18),加工台(1)的顶部呈竖直设有立杆,立杆的顶部外壁上通过第一铰接轴和第二铰接轴分别可转动的设置有第一齿轮(19)和第二齿轮(20),齿条(18)和第二齿轮(20)均与第一齿轮(19)啮合连接,且第一齿轮(19)比第二齿轮(20)大,第二铰接轴远离第二齿轮(20)的一端套设有风扇(21)。

6.根据权利要求5所述的一种半导体硅晶棒截断用定位切割设备,其特征在于:加工台(1)的顶部固定设有搭接台(22),搭接台(22)的顶部呈一体成型设置有可供硅晶棒搭接的弧形容纳槽,搭接台(22)上的上方固定设有气缸(23),气缸(23)的输出端上固定设有弧形压紧板(24),所述气缸(23)与控制器电连接。

7.根据权利要求6所述的一种半导体硅晶棒截断用定位切割设备,其特征在于:搭接台(22)的两端呈对称设置有两个限位套(25)。

8.根据权利要求7所述的一种半导体硅晶棒截断用定位切割设备,其特征在于:立板的顶部外壁上固定设有限位杆,所述限位杆与齿条(18)套接。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于科莱思半导体智造(浙江)有限公司,未经科莱思半导体智造(浙江)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202120744128.4/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top