[发明专利]LTPO基板及其制作方法、显示面板有效
| 申请号： | 202111508832.0 | 申请日： | 2021-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN114203732B | 公开（公告）日： | 2023-07-25 |
| 发明（设计）人： | 马倩 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L27/12 | 分类号： | H01L27/12;H01L21/77 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 熊明 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供了一种LTPO基板及其制作方法、显示面板。该LTPO基板包括衬底、多晶硅有源层、第一绝缘层、第一电极层、第二绝缘层、氧化物有源层、第三绝缘层和第二电极层。多晶硅有源层设于衬底上。第一绝缘层设于多晶硅有源层和衬底上。第一电极层包括设于第一绝缘层上并间隔设置的第一栅极、遮光层和第一极板。第二绝缘层设于第一绝缘层和第一电极层上。氧化物有源层设于第二绝缘层上。第三绝缘层设于第二绝缘层和氧化物有源层上。第二电极层包括位于第三绝缘层上并间隔设置的第二栅极和第二极板。即本申请通过将第一栅极、遮光层及第一极板同层设置，将第二栅极和第二极板同层设置，可以减少绝缘层的数量，从而降低LTPO基板的厚度。 | ||
| 搜索关键词： | ltpo 及其 制作方法 显示 面板 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
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