[发明专利]一种用于低位错密度CdS单晶生长的籽晶处理方法在审
申请号: | 202111457399.2 | 申请日: | 2021-12-02 |
公开(公告)号: | CN114134576A | 公开(公告)日: | 2022-03-04 |
发明(设计)人: | 高彦昭;王英民;李轶男;王健;程红娟;刘禹岑;刘兴华 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第四十六研究所 |
主分类号: | C30B29/50 | 分类号: | C30B29/50;C30B35/00 |
代理公司: | 天津中环专利商标代理有限公司 12105 | 代理人: | 胡京生 |
地址: | 300220*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本发明涉及一种用于低位错密度CdS单晶生长的籽晶处理方法,将装有CdS籽晶的籽晶架、5~20g CdS粉和石英封帽从石英管的B端依次装入石英管内,进行抽真空、充高纯氩气、封结处理,然后将石英管装入双温区退火炉中进行加热,随着石英管内温度升高到设定温度,CdS粉挥发出的CdS气氛充满整个石英管腔内,再加上氩气的保护,CdS籽晶表面挥发量极少,同时CdS籽晶处于低温区,CdS气氛会在CdS籽晶表面的微裂纹处进行凝结生长,逐步将裂纹填充,实现CdS籽晶表面的微裂纹修复,有效降低了CdS籽晶片的位错密度。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 低位 密度 cds 生长 籽晶 处理 方法 | ||
【主权项】:
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