[发明专利]晶圆片花篮夹取防脱落且带报警功能的机械手

摘要

本发明公开了一种晶圆片花篮夹取防脱落且带报警功能的机械手，包括固定在升降轴上的旋动组件、旋转杆、轴承定位座、缓冲组件和取放晶圆片花篮的夹持组件，以及报警闪光灯和触动传感片，旋动组件包括顶推气缸、斜面滑块、左右对称布置的旋转座、销轴、滚动圆球，旋转杆两端均与轴承定位座配合定位，旋转杆一端与旋动组件固连，另一端通过缓冲组件与夹爪连接，夹爪包括锁紧块、紧固螺母、夹杆和夹持臂，紧固螺母外部还固连有触动传感片，该机械手用紧固螺母对夹持臂进行二次紧固，同时配合缓冲组件固定锁死在旋转杆上，对旋转杆与锁紧块之间进行二次锁紧，触动传感片会拨动报警闪光灯里的开关，发出闪光报警，起到预防并报警的效果。