[发明专利]晶圆片花篮夹取防脱落且带报警功能的机械手

权利要求书

1.一种晶圆片花篮夹取防脱落且带报警功能的机械手，其特征在于：包括固定在升降轴上的旋动组件、旋转杆、轴承定位座、缓冲组件和取放晶圆片花篮的夹持组件，以及用于监测夹持组件与旋转杆发生松动偏转的报警闪光灯和触动传感片，所述触动传感片呈U型，包括两侧的定位片和中间的拨片，所述定位片与锁紧螺母固连，所述拨片与报警闪光灯的微动开关对应配合，

所述旋动组件包括顶推气缸、斜面滑块、左右对称布置的旋转座、销轴、滚动圆球，以及复位拉簧，所述顶推气缸的顶推杆与斜面滑块后端面固连，带动斜面滑块做前后滑移动作，所述斜面滑块下端还固连有滑块滑轨组件，所述旋转座与两侧对称布置的旋转杆固连，所述销轴与旋转座内侧面固连，销轴前端设置有滚动圆球，所述滚动圆球与斜面滑块上端设有的倾斜面相切滚动配合，所述复位拉簧通过连接销与两侧的旋转座连接，带动旋转座保持预紧力，

所述旋转杆两端均与轴承定位座配合定位，旋转杆一端与旋动组件固连，另一端通过缓冲组件与夹爪连接，

所述缓冲组件包括内棘轮、外棘轮和缓冲橡胶，所述内棘轮内壁设置有螺纹，所述外棘轮外壁设置有锁止片，内棘轮与旋转杆螺接固连，外棘轮与夹持组件由锁止片通过螺钉螺接固连，所述缓冲橡胶填充在内棘轮和外棘轮之间，

所述夹持组件包括锁紧块、紧固螺母、夹持臂和夹杆，所述锁紧块以两块拼接夹持旋转杆的方式锁紧旋转杆，并通过螺钉锁紧，所述紧固螺母与外棘轮固连，所述紧固螺母外部设置有螺纹段，并与锁紧块内壁设置的螺纹孔螺接配合，以进一步将旋转杆与锁紧块加力固连，所述紧固螺母外部还固连有触动传感片，所述触动传感片与固定在锁紧块外侧的报警闪光灯配合，以监测夹爪与旋转杆发生松动偏转的位移量，当夹爪松动时会带动紧固螺母偏转，进而带动触动传感片偏转，而触动传感片拨动报警闪光灯的微动开关而点亮，实施发光报警。

2.根据权利要求1所述的晶圆片花篮夹取防脱落且带报警功能的机械手，其特征在于：所述夹持臂与锁紧块下部固连，所述夹持臂与呈U型的夹杆螺接固连，所述夹持臂两侧设置有延伸孔。

3.根据权利要求2所述的晶圆片花篮夹取防脱落且带报警功能的机械手，其特征在于：所述延伸孔外侧还螺接有锁紧螺母。

4.根据权利要求1所述的晶圆片花篮夹取防脱落且带报警功能的机械手，其特征在于：所述晶圆片花篮呈方盒状，两侧设置有与夹杆配合的夹持槽，内部两侧对称设置有若干个格挡，所述格挡之间放置有待清洗的晶圆片。

5.根据权利要求1所述的晶圆片花篮夹取防脱落且带报警功能的机械手，其特征在于：所述内棘轮外壁和外棘轮内壁均设置有棘齿，以充分均匀地咬合缓冲橡胶，保持内棘轮与外棘轮轴线重合且径向受力均匀。

6.根据权利要求1所述的晶圆片花篮夹取防脱落且带报警功能的机械手，其特征在于：所述轴承定位座与旋转杆之间设置有轴承。

7.根据权利要求1所述的晶圆片花篮夹取防脱落且带报警功能的机械手，其特征在于：所述升降轴与自动化设备设有的升降气缸或电动丝杆副配合实现升降动作。