[发明专利]一种HVPE法生长氮化铝的辅助加热体装置及方法在审
| 申请号： | 202111340309.1 | 申请日： | 2021-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN114134572A | 公开（公告）日： | 2022-03-04 |
| 发明（设计）人： | 王再恩;王双;孙科伟;董增印;李贺;程文涛;张嵩 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十六研究所 |
| 主分类号： | C30B29/40 | 分类号： | C30B29/40;C30B23/06 |
| 代理公司： | 天津中环专利商标代理有限公司 12105 | 代理人： | 王凤英 |
| 地址： | 300220*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种HVPE法生长氮化铝的辅助加热体装置及方法。该装置的上加热体设有氨气接入口和氯化铝接入口，并分别与氯化铝气体管路、氨气气体管路螺纹连接；氨气接入口和氯化铝接入口贯通辅助加热体装置上加热体；下加热体设有回型沟槽，回型沟槽中设有若干个圆形孔洞作为出气口，圆形孔洞贯穿至下加热体下表面；上加热体的氨气接入口和氯化铝接入口的下端分别与下加热体设有的回型沟槽连通；上加热体与下加热体通过螺纹连接。采用本辅助加热装置，有效减少了外延衬底上多晶掉落的概率；有效降低出气管口多晶沉积量，减少生长过程中的多晶掉落，提高生长过程中炉内环境的稳定性，实现HVPE‑AlN外延层的长时间稳定生长。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 hvpe 生长 氮化 辅助 加热 装置 方法 | ||
【主权项】：
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