[发明专利]金属遮罩及其制造方法有效
| 申请号： | 202111323122.0 | 申请日： | 2021-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN114086114B | 公开（公告）日： | 2023-05-05 |
| 发明（设计）人： | 陈韵珩;林文宜 | 申请（专利权）人： | 达运精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23F1/02;G03F1/00 |
| 代理公司： | 北京市立康律师事务所 11805 | 代理人： | 梁挥;孟超 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开一种金属遮罩及其制造方法，所述金属遮罩包括压延金属材料，以形成金属遮罩基材，其中金属遮罩基材包括表面以及形成在此表面上的多条沟槽，而这些沟槽皆朝向一方向延伸。表面具有至少一取样区域，而多条沟槽分布于取样区域中，其中取样区域中的这些沟槽的面积与取样区域的面积之间的平均面积比值介于45％与68％之间。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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