[发明专利]金属遮罩及其制造方法

权利要求书

1.一种金属遮罩的制造方法，其特征在于，包括：

压延一金属材料，以形成一金属遮罩基材，其中该金属遮罩基材包括一表面以及形成在该表面上的多条沟槽，而所述沟槽皆朝向一方向延伸，该表面具有至少一取样区域，而多条该沟槽分布于该至少一取样区域中，其中该至少一取样区域中的所述沟槽的面积与该至少一取样区域的面积之间的一平均面积比值介于45％与68％之间。

2.根据权利要求1所述的金属遮罩的制造方法，其特征在于，还包括：

对该金属遮罩基材进行一光刻制程。

3.根据权利要求1所述的金属遮罩的制造方法，其特征在于，该表面具有多个该取样区域，在同一该取样区域中，根据位于该取样区域中的所述沟槽的面积与该取样区域的面积定义一面积比值，而该平均面积比值等于所述取样区域的该面积比值的平均值。

4.根据权利要求3所述的金属遮罩的制造方法，其特征在于，该金属遮罩基材还包括一对彼此相对的长边与一对彼此相对的短边，而所述长边连接所述短边，所述取样区域沿着所述长边而分布，而该方向平行于所述长边的延伸方向。

5.一种金属遮罩，其特征在于，包括：

一表面，具有至少一取样区域；

多条形成在该表面上的沟槽，皆朝向一方向延伸，其中该至少一取样区域中的所述沟槽的面积与该至少一取样区域的面积之间的一平均面积比值介于45％与68％之间；以及

多个开口，形成于该表面。

6.根据权利要求5所述的金属遮罩，其特征在于，各该沟槽的宽度介于7微米至23微米。

7.根据权利要求5所述的金属遮罩，其特征在于，还包括一对彼此相对的长边与一对彼此相对的短边，而所述长边连接所述短边，该方向平行于所述长边的延伸方向。

8.根据权利要求6所述的金属遮罩，其特征在于，该表面具有多个该取样区域，而所述取样区域沿着长边而分布。

9.一种金属遮罩的制造方法，其特征在于，包括：

压延一金属材料，以形成一金属遮罩基材，其中该金属遮罩基材包括一表面以及形成在该表面上的多条沟槽，而所述沟槽皆朝向一方向延伸；

于该表面选取至少一取样区域；

量测并取得该至少一取样区域中的所述沟槽的面积与该至少一取样区域的面积之间的一平均面积比值；以及

当该平均面积比值介于45％与68％之间时，对该金属遮罩基材进行一光刻制程。

10.根据权利要求9所述的金属遮罩的制造方法，其特征在于，于该表面选取多个该取样区域，而量测并取得该平均面积比值的步骤包括：

量测并取得在同一该取样区域中，位于该取样区域中的所述沟槽的面积与该取样区域的面积所定义的一面积比值；以及

计算所述取样区域的该面积比值的平均值。