[发明专利]集成在玻璃衬底中的罗果夫斯基线圈在审
| 申请号： | 202111260318.X | 申请日： | 2021-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN114496990A | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | A·布雷梅塞尔;F·J·桑托斯罗德里格斯;K·佐贝 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技奥地利有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;H01L21/66;G01R19/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 林金朝 |
| 地址： | 奥地利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种形成电流测量装置的方法包括提供玻璃衬底，该玻璃衬底包括彼此相对的第一和第二基本上平坦的表面，在玻璃衬底中形成多个通孔，每个通孔在第一和第二基本上平坦的表面之间延伸，以及在玻璃衬底上形成将通孔中的相邻通孔连接在一起的导电迹线。形成多个通孔包括向玻璃衬底施加辐射，并且导电迹线和通孔共同在玻璃衬底中形成线圈结构。 | ||
| 搜索关键词： | 集成 玻璃 衬底 中的 罗果夫斯 基线 | ||
【主权项】：
暂无信息
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