[发明专利]一种新型真空镀膜设备的镀膜控制方法在审

专利信息
申请号: 202111204838.9 申请日: 2021-10-15
公开(公告)号: CN113969397A 公开(公告)日: 2022-01-25
发明(设计)人: 李星;张灵朝;范斌宏 申请(专利权)人: 浙江生波智能装备有限公司
主分类号: C23C16/50 分类号: C23C16/50;C23C16/448;C23C16/455;C23C16/56
代理公司: 中山卓融知识产权代理事务所(普通合伙) 44791 代理人: 彭国军;赵钊
地址: 314499 浙江省嘉兴*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明提供适用范围广且效率高的一种新型真空镀膜设备的镀膜控制方法,包括如下步骤:抽真空,抽真空装置对真空室进行抽真空;预冷却,基材传送装置通过水冷结构对驱动辊进行预冷却;预紧张力,基材传送装置通过驱动辊将基材绷紧,并将基材传送至雾化加热装置的上方;雾化,雾化装置将液态有机镀膜材料进行雾化,并将雾化后的液态有机镀膜材料喷出至加热装置的加热箱体内;汽化,加热装置的加热组件对加热箱体进行加热,从而将雾化后的有机镀膜材料进行加热以使其汽化;附着,涂覆载体组件驱动汽化后的有机镀膜材料从喷口喷出并附着于基材的表面上;冷却成型,预冷却后的驱动辊对附着于基材表面上的有机镀膜材料进行冷却成型。
搜索关键词: 一种 新型 真空镀膜 设备 镀膜 控制 方法
【主权项】:
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