[发明专利]一种新型真空镀膜设备的镀膜控制方法

权利要求书

1.一种新型真空镀膜设备的镀膜控制方法，其特征在于包括如下步骤：

A：抽真空，抽真空装置(101)对真空室(100)进行抽真空；

B：预冷却，基材传送装置(1)通过水冷结构对驱动辊(11)进行预冷却；

C：预紧张力，基材传送装置(1)通过驱动辊(11)将基材(10)绷紧，并将基材(10)传送至雾化加热装置(2)的上方；

D：雾化，雾化装置(21)将液态有机镀膜材料进行雾化，并将雾化后的液态有机镀膜材料喷出至加热装置(22)的加热箱体(221)内；

E：汽化，加热装置(22)的加热组件(222)对加热箱体(221)进行加热，从而将雾化后的有机镀膜材料进行加热以使其汽化；

F：附着，涂覆载体组件(23)驱动汽化后的有机镀膜材料从喷口(2211)喷出并附着于基材(10)的表面上；

G：冷却成型，预冷却后的驱动辊(11)对附着于基材(10)表面上的有机镀膜材料进行冷却成型。

2.根据权利要求1所述的一种新型真空镀膜设备的镀膜控制方法，其特征在于还包括如下步骤：

H：固化传送，基材传送装置(1)将附着有有机镀膜材料的基材(10)传送至紫外固化装置(3)的一侧；

I：固化，紫外固化装置(3)向基材(10)发射紫外线，从而将冷却成型于基材(10)表面上的有机镀膜材料进行紫外固化。

3.根据权利要求1或2所述的一种新型真空镀膜设备的镀膜控制方法，其特征在于在所述雾化步骤中，雾化装置(21)将液态有机镀膜材料雾化为20μm的微小颗粒。

4.根据权利要求3所述的一种新型真空镀膜设备的镀膜控制方法，其特征在于在所述雾化步骤中，包含有增压喷出步骤：增压接头(213)接入外部高压气，使得经雾化后的液态有机镀膜材料经过雾化喷头(2122)增压喷出并在加热箱体(221)内迅速扩散。

5.根据权利要求1或2所述的一种新型真空镀膜设备的镀膜控制方法，其特征在于在所述汽化步骤中，加热组件(222)将加热箱体(221)加热至400℃以上的高温。

6.根据权利要求1或2所述的一种新型真空镀膜设备的镀膜控制方法，其特征在于在所述附着步骤中，包含有二进制均气步骤：外部高压气源通过进气管(231)进入布气管(232)，并通过布气总出口(2320)喷出至加热箱体(221)内，从而驱动汽化后的有机镀膜材料依次通过数个导流挡板(223)并均匀地通过喷口(2211)喷出。

7.根据权利要求6所述的一种新型真空镀膜设备的镀膜控制方法，其特征在于在所述附着步骤中，还包含有气帘形成步骤：外部高压气通过气帘通气孔(2302)往基材(10)的方向喷射，从而在隔离罩(230)的顶部边缘形成环形封闭的气帘。

8.根据权利要求4所述的一种新型真空镀膜设备的镀膜控制方法，其特征在于在所述雾化步骤中，还包含有双重冷却步骤：外部冷却液和冷却气体分别通过水冷进口(214)和气冷进口(216)进入至第一冷却空间(2113)和第二冷却空间，并分别从水冷出口(215)气冷出口(217)回流，从而实现雾化装置(21)的循环水冷和循环气冷。

9.根据权利要求2所述的一种新型真空镀膜设备的镀膜控制方法，其特征在于在所述固化步骤中，包括光源冷却步骤：光源冷却系统对紫外光源进行降温。