[实用新型]一种真空镀膜装置有效
| 申请号： | 201821393521.8 | 申请日： | 2018-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN208898989U | 公开（公告）日： | 2019-05-24 |
| 发明（设计）人： | 梅艳慧 | 申请（专利权）人： | 君泰创新(北京)科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/52 | 分类号： | C23C14/52;C23C14/56;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京风雅颂专利代理有限公司 11403 | 代理人： | 张拥;李翔 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区亦*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空镀膜装置，包括真空镀膜室、观察窗、真空隔离件和传感器，所述真空镀膜室的室壁和所述观察窗之间设置有连接管路，所述连接管路上设置有所述真空隔离件，所述传感器能够透过所述观察窗检测真空镀膜室内的基片。通过在观察窗和真空镀膜室之间加设真空隔离件，利用真空隔离件调节观察窗和真空镀膜室之间的连通与断开，实现无需对真空镀膜室充大气，即可快速更换观察室玻璃，极大提高装置运行时间，并保护真空镀膜室内的真空环境。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜室 观察窗 真空隔离 真空镀膜装置 连接管路 真空镀膜 传感器 室内 本实用新型 快速更换 提高装置 真空环境 观察室 室壁 断开 连通 玻璃 检测 | ||
【主权项】：
1.一种真空镀膜装置，其特征在于，包括真空镀膜室、观察窗、真空隔离件(2)和传感器(5)，所述真空镀膜室的室壁(1)和所述观察窗(4)之间设置有连接管路，所述连接管路上设置有所述真空隔离件(2)，所述传感器(5)能够透过所述观察窗(4)检测真空镀膜室内的基片。
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- 2017-03-22 - 2017-10-24 - C23C14/52
- 本实用新型公开了一种用于真空镀膜机的观察窗，所述观察窗包括窗体以及安装在窗体上的偏振镜，其中，偏振镜包括第一偏振片和第二偏振片，第一偏振片安装在内侧近真空镀膜机，第二偏振片安装在外侧，所述第二偏振片上设有把手，用于旋转第二偏振片。本实用新型的可根据真空镀膜机内的光亮调节偏振镜，更利于工作人员观察真空镀膜机内的情况，并且近真空镀膜机内的偏振片基材为石英玻璃，具有耐高温的特点，外侧的偏振片为铅玻璃，具有防辐射的特点，本实用新型还具有很强的实用性和推广等特点。
- 一种氟化镱用沉积真空炉-201620554071.0
- 滕刚;闫海滨 - 南京施密特光学仪器有限公司
- 2016-06-08 - 2016-11-16 - C23C14/52
- 本实用新型公开了一种氟化镱用沉积真空炉，包括真空炉体（1），在所述真空炉体（1）的圆周上设有若干观察孔（2），在所述观察孔（2）之间设有导轨（3），在所述导轨（3）上设有在所述导轨（3）上滑动至观察孔（2）的摄像机（4）。本实用新型实现了实时监控，且只需一名操作人员即可完成监控，同时节省了人力物力，提升了监控实时性。
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