[发明专利]真空镀膜腔室、真空镀膜设备及其工件传送方法在审
| 申请号： | 202111204166.1 | 申请日： | 2021-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN113832445A | 公开（公告）日： | 2021-12-24 |
| 发明（设计）人： | 左国军;梁建军;朱海剑;杨虎 | 申请（专利权）人： | 常州捷佳创精密机械有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/50;C23C14/22;C23C16/458;C23C16/46;C23C16/54 |
| 代理公司： | 北京友联知识产权代理事务所(普通合伙) 11343 | 代理人： | 尚志峰;王淑梅 |
| 地址： | 213133 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种真空镀膜腔室、一种真空镀膜设备及其工件传送方法，其中，真空镀膜腔室，包括：腔体；至少两个子载板，位于腔体内，子载板用于承载工件，至少两个子载板并排排列，相邻的子载板之间具有空隙。通过在真空镀膜腔室中设置至少两个子载板，并通过子载板对工件进行运输，一方面避免了通过一个整体载板运输而产生的载板过大的问题，减小了子载板的尺寸，提高了子载板的强度，另一方面一块子载板可同时运输多个工件，提高了运输效率，减少了用于移动子载板的钩取件的数量，简化了真空镀膜腔室的结构。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 设备 及其 工件 传送 方法 | ||
【主权项】：
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