[发明专利]一种氮化物横向极性结及其制备方法、深紫外发光二极管

摘要

本发明提供了一种氮化物横向极性结及其制备方法、深紫外发光二极管，该氮化物横向极性结，包括：衬底；二维材料微纳图形层；氮化物材料层。本发明的氮化物横向极性结，二维材料微纳图形层的材料能够实现氮化物材料层的均匀极性反转，有效地抑制了传统极性调控方法存在的非均匀极性材料共存的难题；过渡金属二硫属化合物层间弱的范德华作用力，能够有效的消除衬底和氮化物材料层之间的晶格失配作用，提高N极性氮化物材料的晶体质量，同时降低内部的残余应力。本发明的深紫外发光二极管，包括氮化物横向极性结，配合氮化物横向极性结实现电子和空穴的高效复合发光，能够实现载流子横向输运特性的调控，提高深紫外发光效率。