[发明专利]用于移除粘合剂层的单元及其使用方法

摘要

本发明构思提供了一种用于移除粘合剂层的单元。在实施例中，处理室包括：第一主体和第二主体，所述第一主体和所述第二主体进行组合而具有用于处理基板的内部空间；抗摩擦层，所述抗摩擦层在所述第一主体与所述第二主体之间的交界处形成；以及粘合剂层，所述粘合剂层用于将所述抗摩擦层与所述第一主体或所述第二主体进行粘合，其中粘合剂层移除单元包括超声波发生器和擦拭件，所述擦拭件被提供来包围所述超声波发生器。在实施例中，所述超声波发生器还包括手柄和振动发生器，所述振动发生器从所述手柄延伸并且产生超声波，在所述振动发生器中包括振动器，并且其中所述擦拭件包围所述振动发生器。